Hope儀器S49 33/MT 質量流量計

氣體質量流量控(kong)制(zhi)器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設(she)備。

S49系列質量流量控制(zhi)器(流量計(ji))特(te)點(dian)：

*采(cai)用主體(ti)不(bu)銹鋼（316L）結構，與氣(qi)體(ti)接觸部分采(cai)用鐵素體(ti)高耐腐蝕(shi)軟磁不(bu)銹鋼、VITON?、聚(ju)四(si)氟乙(yi)烯等

*適用于(yu)各種腐蝕(shi)性氣體

*氣體(ti)流量(liang)不因(yin)溫(wen)度、壓力的變化而失準

*高(gao)精度(du)  

*重復性(xing)好

*響應(ying)速度快、軟啟動(dong)、穩定(ding)可靠

*低壓降

*工作(zuo)壓(ya)力范圍寬（可以在高壓(ya)或(huo)真空條件(jian)下工作(zuo)）。

*操作(zuo)使用方便，可(ke)任意(yi)位置安裝

*便于與計算機連接(jie)實現自動控制。

S49系(xi)列(lie)質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)器(流量(liang)(liang)計)主要應用領域：

*半(ban)導體制(zhi)造(zao)行業的氣體流量控(kong)制(zhi)

*分(fen)析儀(yi)器設備(bei)的氣體計量與控制(zhi)

*各種形式的(de)真空鍍膜(mo)設備

*環境檢(jian)測與分析設備

*化工(gong)、石化、食品(pin)行(xing)業氣體(ti)流量監測和控(kong)制

*特種材料表(biao)面處理(li)裝置與(yu)燃燒控制

*混氣配氣系統(tong)和泄(xie)漏探(tan)測系統(tong)等

2．S49系列質(zhi)量流(liu)量控制器(流(liu)量計)型號

本(ben)產品采用中華(hua)人民共和國(guo)電子行(xing)業(ye)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規定的通用技術條件及命名方法。

質量(liang)(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)(liang)計主要精(jing)確測量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體流量(liang)(liang)(liang)(liang)，質量(liang)(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)(liang)控制器不但具有質量(liang)(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)(liang)計的(de)功能還(huan)具備自動控制氣體流量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)功能。

型(xing)式批準證書:2011F215-11

執行Q/CYHMT001-2011企業標準

許可證編號(hao)：京制(zhi)01050063號(hao)

3．主要技術指標

質量流量控制器(流量計(ji))出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量(liang)流量(liang)的單位規定(ding)為(wei): 標準狀態mL/min  (毫升(sheng)/分鐘(zhong)) (SCCM行業標準)

標準狀態L/min   （升/分鐘）  (SLM行業標準)

標(biao)準狀態規(gui)定為:溫度 ---   0℃

氣壓 —  101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量(liang)程值(zhi)

Hope儀器S49 33/MT 質量流量計

表1 S49 33M/MT型(xing)質量流(liu)量控(kong)制器(流(liu)量計)技術指標

注意(yi)： S49系(xi)列質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(流(liu)(liu)量(liang)(liang)計)分不同的流(liu)(liu)量(liang)(liang)范圍，供(gong)用戶選擇，也可根據(ju)用戶提(ti)出流(liu)(liu)量(liang)(liang)定制(zhi)。