Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的(de)質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)進行精密測量(liang)(liang)和控(kong)制。質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用(yong)于對氣體的質量(liang)流量(liang)進行精密測(ce)量(liang)。

S49 31 質量流(liu)量控制器和(he)質量流(liu)量計特點：

☆主體采用不(bu)銹鋼（316L）結構(gou)，氣密(mi)材料采用(yong)VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種(zhong)耐腐蝕性氣體。

☆耐壓(ya)高及適用于真空條(tiao)件(jian)下工(gong)(gong)作(zuo)。低壓(ya)降。工(gong)(gong)作(zuo)壓(ya)力范圍(wei)寬(kuan)，氣(qi)體流量(liang)不因(yin)溫(wen)度、壓(ya)力的變化(hua)而變化(hua)。

☆具有精度高(gao)、重復性好(hao)、響應速度快、軟啟動(dong)、工作穩(wen)定可靠。

☆可任意(yi)位(wei)置安裝。電氣(qi)操作控(kong)制(zhi)(zhi)顯示(shi)，使用方便。易于與電氣(qi)系(xi)統(tong)(tong)或(huo)自動控(kong)制(zhi)(zhi)系(xi)統(tong)(tong)配合。

☆配(pei)合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和(he)累積流量進行精確(que)計(ji)量。

S49 31 質量流(liu)量控制(zhi)器(qi)和質量流(liu)量計主要應用領域：

半導體制造行(xing)業的氣體流量控制；

分析儀器設備(bei)的氣體(ti)計(ji)量與控制；

各種形(xing)式的(de)真空鍍膜設(she)備；

環境檢(jian)測(ce)與(yu)分析設備；

化工(gong)、石化、食品(pin)、冶金、光纖熔煉(lian)等行業氣體流量(liang)檢測和(he)控制(zhi)；

特種材(cai)料表面處理裝置與(yu)燃燒控制；

混氣(qi)配氣(qi)系統和泄露探測系統等(deng)。

2、S49系列質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制器和質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)計型號

S49 31 系列質量流量控制器，S49為質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制(zhi)器(qi)和質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)計產品(pin)，31/MT為本公司此(ci)產品設(she)計序列號。

其中：S49 31/MT 系(xi)列為質量流量控制器。

S49 31A/MT 系列為質量(liang)流量(liang)計(ji)。

質量流(liu)量計(ji)用于氣體(ti)(ti)質量流(liu)量精(jing)確(que)測量計(ji)量；質量流(liu)量控制(zhi)器不但具有(you)質量流(liu)量計(ji)的測量計(ji)量功能(neng)，還具有(you)自動控制(zhi)氣體(ti)(ti)流(liu)量的功能(neng)。

執(zhi)行Q/CYHMT001-2011企業標(biao)準  

Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

3、 主要技術(shu)指標(biao)

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定(ding)。

質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫升/分鐘）   （SCCM行(xing)業標(biao)準）；

               標準狀態L/min   （升/分鐘）（SLM行業(ye)標準）。

標準狀態為：溫度----0℃；

           氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿(man)量程值

表(biao)1 S49 31/MT流(liu)量控制(zhi)器、S49 31A/MT流(liu)量計(ji)技(ji)術指(zhi)標