S49 31/MT質量流量計主(zhu)體采用不銹(xiu)鋼（316L）結構，氣(qi)密材(cai)料(liao)采用VITON?、聚(ju)四氟(fu)乙烯等(deng)。適(shi)用于各(ge)種耐腐蝕性氣(qi)體。
S49 31/MT質量流量計
質量流量控(kong)制器（Mass Flow Controller縮寫(xie)為MFC）用于(yu)對氣體的質量(liang)流量(liang)進行精密測量(liang)和控制。質量(liang)流量(liang)計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于(yu)對氣體的質量流量進行精(jing)密測量。
S49 31 質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器和(he)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計特點(dian)：
☆主體采用(yong)不銹(xiu)鋼（316L）結構，氣(qi)密材料(liao)采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種(zhong)耐腐蝕(shi)性氣體。
☆耐(nai)壓(ya)高及適用于(yu)真空條件下工(gong)(gong)作(zuo)。低壓(ya)降。工(gong)(gong)作(zuo)壓(ya)力范圍寬(kuan)，氣體流(liu)量(liang)不因溫(wen)度、壓(ya)力的變(bian)化而變(bian)化。
☆具(ju)有(you)精(jing)度高、重(zhong)復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠(kao)。
☆可任(ren)意位置安裝。電氣操作(zuo)控制顯示，使用方便。易(yi)于與電氣系(xi)統(tong)或自動控制系(xi)統(tong)配合(he)。
☆配(pei)合MT-60 系列(lie)流量積算儀，可對(dui)氣體(ti)的(de)瞬時流量和累積流量進行精(jing)確計量。
S49 31 質(zhi)量流量控制器和質(zhi)量流量計主(zhu)要應(ying)用領域：
半導體(ti)制造行業的氣體(ti)流(liu)量控(kong)制；
分(fen)析儀器(qi)設(she)備(bei)的氣體(ti)計量與(yu)控(kong)制；
各種形(xing)式的真空(kong)鍍膜設備；
環(huan)境(jing)檢(jian)測與分析設備；
化工、石化、食品(pin)、冶金、光(guang)纖(xian)熔(rong)煉等行業氣體流量檢測和(he)控制；
特種(zhong)材(cai)料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配(pei)氣系統(tong)和(he)泄露(lu)探測(ce)系統(tong)等。
2、S49系(xi)列質(zhi)量流量控制(zhi)器和質(zhi)量流量計(ji)型號
S49 31 系列質量流量控制器，S49為質量流(liu)量控(kong)制器(qi)和(he)質量流(liu)量計產品(pin)，31/MT為本(ben)公司此(ci)產品設計(ji)序列號。
其中：S49 31/MT 系列為質量(liang)流量(liang)控制器。
S49 31A/MT 系列為質量流量計。
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計用于氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)精(jing)確測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)(liang)；質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制器(qi)不(bu)但(dan)具(ju)有質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計的測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)(liang)功能，還具(ju)有自動控制氣體流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的功能。
執行Q/CYHMT001-2011企業標(biao)準
S49 31/MT質量流量計
3、 主(zhu)要技術指標
質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標(biao)定。
質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業標準）；
標準狀態L/min （升/分(fen)鐘(zhong)）（SLM行業標準）。
標準狀態為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表(biao)示滿(man)量(liang)程值
表(biao)1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指(zhi)標(biao)
編(bian)號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量(liang)規格(ge) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥(fa) | |
3 | 調節閥靜(jing)止狀態 | 常閉 | |
4 | 準(zhun)確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% ;F.S) | |
5 | 線性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重復精(jing)度 | ±0.2%F.S | |
7 | 響應時間 | (3～4)s | |
8 | 工作(zuo)壓差(cha)范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐(nai)壓 | 3MPa; ; 10MPa | |
10 | 工(gong)作環境(jing)溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材(cai)料(liao) | 不(bu)銹鋼(gang)316L | |
12 | 標準密(mi)封材料 | Viton?， EPDM， 或(huo)其他(ta)由(you)用戶(hu)zhi定(ding) | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或(huo)VCR)， 軟管接(jie)頭(tou)Ф4mm～Ф10mm 或其(qi)他 | |
15 | 輸入輸出信號 | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fu)載(zai)輸出電(dian)流(liu)能力≤3mA) | |
16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形(xing)尺寸(cun)mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
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