S49 33/MT 質量(liang)流量(liang)計采用(yong)(yong)中華人民共和國電(dian)子(zi)行業標準(zhun)SJ/T10583-94以及(ji)(ji)SJ37所規定的通用(yong)(yong)技(ji)術條(tiao)件(jian)及(ji)(ji)命名(ming)方(fang)法。
S49 33/MT 質量流量計
氣體質量流(liu)量控制(zhi)器（流(liu)量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xie)為MFC(MFM)）是對(dui)氣體的質(zhi)量(liang)流量(liang)進行精密測量(liang)和控制的設備。
S49系列質(zhi)量(liang)流量(liang)控(kong)制器(qi)(流量(liang)計)特點：
*采用主體(ti)不銹鋼（316L）結構，與氣體(ti)接觸(chu)部分采用鐵素體(ti)高(gao)耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四(si)氟乙(yi)烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不(bu)因溫度、壓力的變化而失準(zhun)
*高精(jing)度
*重復性好(hao)
*響(xiang)應(ying)速度快(kuai)、軟啟動、穩定可靠
*低壓降(jiang)
*工作壓力(li)范圍寬（可以在高壓或真(zhen)空條件(jian)下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安(an)裝
*便于與計算機連接實現自動控制。
S49系列質量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)主要應用(yong)領(ling)域：
*半導體(ti)制(zhi)造行業(ye)的氣體(ti)流(liu)量(liang)控制(zhi)
*分析儀(yi)器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空(kong)鍍(du)膜設(she)備
*環境檢測與分析設備
*化(hua)(hua)工、石化(hua)(hua)、食品行業氣體流(liu)量監測和(he)控制
*特種(zhong)材料表面處(chu)理裝置與(yu)燃(ran)燒控(kong)制
*混氣(qi)配氣(qi)系(xi)統和泄漏探(tan)測系(xi)統等(deng)
2．S49系列質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器(qi)(流(liu)量(liang)計)型號(hao)
本產品(pin)采用中華人民共和國電子行業標準(zhun)SJ/T10583-94以及SJ37所規定的(de)通(tong)用技術條件及命名方法。
質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計主(zhu)要精確測(ce)量(liang)(liang)氣體(ti)流量(liang)(liang)，質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)器(qi)不但具(ju)有質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計的功能還具(ju)備自動控制(zhi)氣體(ti)流量(liang)(liang)的功能。
型式批準證書:2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準(zhun)
許(xu)可證編號：京制01050063號
3．主要技(ji)術指(zhi)標
質(zhi)量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)出廠通常用(yong)氮(dan)氣（N2）標定(ding)。
質量(liang)流量(liang)的單位規定為(wei): 標準狀態mL/min (毫升/分鐘(zhong)) (SCCM行業標準)
標準(zhun)狀態(tai)L/min （升(sheng)/分鐘） (SLM行業標準(zhun))
標準狀(zhuang)態(tai)規定為(wei):溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量(liang)程值
S49 33/MT 質量流量計
表(biao)1 S49 33M/MT型質量流量控制器(流量計)技術(shu)指標
編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量規格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁(ci)調(diao)節閥 | ||
3 | 調節閥(fa)靜(jing)止位(wei)置 | 常閉 | ||
4 | 準(zhun)確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重復精度(du) | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應時間(jian) | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工(gong)作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作(zuo)環(huan)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
12 | 標準密封材料(liao) | Viton?﹑EPDM, 或其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接(jie)頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
15 | 輸(shu)入輸(shu)出信(xin)號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入(ru)阻抗大于100K, 輸出電流不(bu)大于3mA) | ||
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形(xing)尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意(yi)： S49系列質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)器(流(liu)量計)分不同(tong)的流(liu)量范圍，供用戶(hu)選(xuan)擇，也可根據用戶(hu)提出流(liu)量定制(zhi)。
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