Hope儀器S49 32/MT 質量流量計耐壓(ya)高及適用于真空條件(jian)下工(gong)作。低壓(ya)降。工(gong)作壓(ya)力范圍寬，氣體流量(liang)不因溫(wen)度、壓(ya)力的變化而變化。
Hope儀器S49 32/MT 質量流量計
特點及(ji)主要應用領域
S49 32/MT 質(zhi)量流量控制器(流量計)特點：
☆耐(nai)壓(ya)(ya)高及適用于真(zhen)空條件下工(gong)作。低(di)壓(ya)(ya)降(jiang)。工(gong)作壓(ya)(ya)力(li)范圍寬(kuan)，氣體流量不因(yin)溫(wen)度、壓(ya)(ya)力(li)的變化而變化。
☆主(zhu)體采用不銹鋼（316L）結(jie)構，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕(shi)性氣體。
☆具有精度高、重復性好(hao)、響應速度快、軟啟動、工(gong)作穩定可(ke)靠。
☆可(ke)任(ren)意(yi)位置安裝(zhuang)。電氣操作控制顯示，使(shi)用方便。易于與電氣系(xi)統(tong)(tong)或自動控制系(xi)統(tong)(tong)配合。
☆配合(he)MT-60 系列流量(liang)(liang)積算(suan)儀(yi)，可對(dui)氣體(ti)的瞬時流量(liang)(liang)和累(lei)積流量(liang)(liang)進(jin)行精(jing)確計(ji)量(liang)(liang)。
S49 32/MT 質量流(liu)量控制器(流(liu)量計)主(zhu)要應用領域(yu)：
半導體(ti)制造行業(ye)的(de)氣體(ti)流(liu)量控制；
分析儀器(qi)設備的氣體計量與(yu)控制；
各種形式的真空鍍(du)膜設備；
環境(jing)檢(jian)測與分析設(she)備；
化工、石(shi)化、食(shi)品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置(zhi)與燃燒控制；
混(hun)氣配(pei)氣系統(tong)和泄(xie)露探(tan)測系統(tong)等。
2. S49系列質量(liang)流量(liang)控制器(qi)(流量(liang)計(ji))型號
S49 32/MT 系列(lie)質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)(流(liu)量(liang)計)，S49為(wei)(wei)質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)(流(liu)量(liang)計)產品，32/MT為(wei)(wei)本(ben)公(gong)司此產品設計序列(lie)號。
質(zhi)量(liang)流量(liang)計用于對氣體(ti)的質(zhi)量(liang)流量(liang)精確測量(liang)計量(liang)；
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)器(流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji))不(bu)但具(ju)有(you)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)的測量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)量(liang)(liang)(liang)(liang)功能，還具(ju)有(you)自動(dong)控制(zhi)氣體的質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)功能。
型式批準證書：2011F215-11
執(zhi)行Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證編號：京制01050063號
3.主要技術(shu)指標
質量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)流量(liang)出廠通(tong)常用氮氣(N2)標(biao)定。
質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標(biao)準)
L/min （升/分(fen)鐘）。 (SLM行業標準)
標(biao)準狀態(tai)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓(ya)----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿(man)量程值
Hope儀器S49 32/MT 質量流量計
表1 S49 32/MT質量流(liu)量控制(zhi)器(流(liu)量計)技術指標
編號 | 項目 | S49 32/MT |
1 | 流(liu)量(liang)規格(ge) | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調節閥類型(xing) | 電磁調(diao)節(jie)閥 |
3 | 調節閥(fa)靜止狀態 | 常閉 |
4 | 準確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性(xing) | ±1.5%F.S |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響應時間 | ≤8秒（T95） |
8 | 工作(zuo)壓差范(fan)圍(wei) | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作(zuo)環境溫度(du) | （5～45）℃ |
11 | 材料(liao) | 不(bu)銹鋼316L |
12 | 標準(zhun)密(mi)封(feng)材(cai)料 | Viton?， EPDM， 或其他由用戶(hu)zhi定 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或(huo)其他(ta)由用戶zhi定 |
15 | 輸入輸出(chu)信號(hao) | （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電(dian)流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 | 重(zhong)量kg | 0．8 |
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