Hope儀器S48 300/HMT 質量流量計廣泛應用于(yu)半導(dao)體制造、真空鍍膜、分析、化(hua)工、環境等行(xing)業的氣(qi)流測量與控(kong)制。
Hope儀器S48 300/HMT 質量流量計
使(shi)用范圍
質量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器廣泛應用于半(ban)導體制(zhi)造(zao)、真空鍍膜、分析、化工、環境等(deng)行業(ye)的氣流(liu)測量(liang)與控制(zhi)。
1.2 質量流(liu)(liu)量控制器和質量流(liu)(liu)量計
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xie)為MFC)，具備流量測量和流量控(kong)制兩種功能。
質(zhi)量(liang)流量(liang)計(Mass Flow Meter 縮寫為(wei)MFM)，只有(you)流(liu)量測量功能，不具備氣流(liu)控(kong)制功能。
1.3 S48 300/HMT質量(liang)流(liu)量(liang)控制器的特點(dian)
☆ S48 300/HMT型(xing)質(zhi)(zhi)量流(liu)量控(kong)制(zhi)器是在引進HORIBA STEC技術基礎上，結合國內需要而研制(zhi)的一種數字式(shi)質(zhi)(zhi)量流(liu)量控(kong)制(zhi)器產品，采用當今*的32位ARM系列處理器做數(shu)字(zi)控制。具有流量(liang)精度(du)高、線性好、零漂小、氣流(liu)響(xiang)應速度(du)快、過沖小等特點(dian)。
☆ RS232/485串(chuan)口， Modbus（RTU）開放協(xie)議(yi)。協(xie)議(yi)簡單可靠，兼容性(xing)強，易于組網。配合上位(wei)機，可進行各種復雜(za)的計(ji)量(liang)、控(kong)制操作及組態。
☆耐壓高及適用于(yu)真空(kong)條件下工作。氣體流量(liang)不因溫度(du)、壓力(li)的(de)變(bian)化而變(bian)化。氣阻(zu)較小，工作壓力(li)范圍寬。
☆主體采(cai)用不銹鋼（316L）結(jie)構，氣密(mi)材料采(cai)用PTFE、氟橡膠等。耐腐(fu)蝕(shi)性強。
☆可任意(yi)角度(du)安裝(zhuang)。
☆兼容數字(zi)和模擬控制及顯示，使用(yong)方便。易于與電氣或(huo)自動控制系(xi)統配合。
配合(he)MT-50或51系列流量(liang)(liang)顯示儀，可(ke)對氣(qi)流的瞬時(shi)流量(liang)(liang)進行精(jing)確測量(liang)(liang)和計量(liang)(liang)。
Hope儀器S48 300/HMT 質量流量計
S48 300/HMT數(shu)字流(liu)量控制器技術指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流(liu)量(liang)規(gui)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調(diao)節閥類型 | 電磁調(diao)節閥 |
3 | 調節閥靜止(zhi)狀態 | 常閉 |
4 | 安(an)裝角度 | 任(ren)意 |
5 | 流(liu)量控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間(jian) | ≤ 1 sec |
8 | 工作(zuo)環境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度(du)保證溫度(du) | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性精度(du) | ±0.5%F.S. |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工(gong)作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐(nai)壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄(xie)漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料 | 316L，Viton? 氟橡膠(jiao)，PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電(dian)電(dian)源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設(she)定信(xin)號 | 數(shu)字(zi)：RS485/RS232 模擬(ni)：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
20 | 流量輸(shu)出信號 | 數字：RS485/RS232 模(mo)擬：0 - +5V，負載能力≤3mA |
21 | 通訊接(jie)口 | 數字RS232/RS485，波特率(lv)4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xie)議從(cong)機，設備號可選(xuan)范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
4.2 訂(ding)貨規范(fan)
在訂貨時應指(zhi)明是質量流量控制器還是質量流量計，指(zhi)明S48 300/HMT產品型號，流量規格，使用(yong)氣體種類，管接頭種類。
例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產品(pin)型號) 500mL/min(流量規格) N2(氣(qi)體種(zhong)類) Φ6(管(guan)路接頭)
在貯運(yun)過程中，不要打(da)開產(chan)品包裝(zhuang)，注(zhu)意防(fang)(fang)雨、防(fang)(fang)塵、防(fang)(fang)磕碰(peng)。
不(bu)能在(zai)ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存放。
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