S49 32/MT質量流量計

1. 特點及主要(yao)應用領域

2. 氣體質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器(qi)（流量(liang)(liang)計）Mass gas flow controller（meter）縮寫(xie)為MFC(MFM)）是(shi)對氣體的質量(liang)流量(liang)進行精密(mi)測量(liang)和控制的設(she)備。

S49 32/MT 質量流(liu)量控制器(流(liu)量計)特點：

☆耐壓高及適用(yong)于(yu)真空條件下工作。低壓降。工作壓力范(fan)圍寬，氣體流(liu)量不因溫度、壓力的變化(hua)而變化(hua)。

☆主(zhu)體采(cai)用不銹鋼（316L）結構，氣密材(cai)料采(cai)用VITON?、聚四氟乙(yi)烯等。適用于(yu)各(ge)種耐腐蝕性氣體(ti)。

☆具有精度(du)高、重(zhong)復性好(hao)、響應速度(du)快、軟啟(qi)動、工(gong)作穩(wen)定可靠。

☆可任意位置(zhi)安(an)裝(zhuang)。電氣(qi)操(cao)作控制顯(xian)示，使用(yong)方便。易(yi)于與電氣(qi)系統(tong)或自動控制系統(tong)配(pei)合。

☆配合MT-60 系列流(liu)(liu)量積算(suan)儀(yi)，可對(dui)氣體的瞬時流(liu)(liu)量和累(lei)積流(liu)(liu)量進行精確計量。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計(ji))主要應用領域：

半導體制(zhi)造行業的氣體流量(liang)控制(zhi)；

分析儀器設(she)備的氣體(ti)計量與控(kong)制(zhi)；

各種形式的真(zhen)空(kong)鍍膜設備；

環(huan)境(jing)檢(jian)測與分析設(she)備；

化(hua)工、石化(hua)、食(shi)品、冶金、光纖(xian)熔(rong)煉(lian)等行業氣體流量檢測和控制(zhi)；

特種材料表面處理裝置(zhi)與燃燒控制；

混(hun)氣配氣系統和(he)泄露探(tan)測系統等。

2. S49系列質量流量控制器(流量計)型號(hao)

S49 32/MT ;系列質(zhi)量流量控制器(流量計)，S49為質(zhi)量流量控制器(流量計)產品，32/MT為本公司此產品設計序列號。

質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計用于(yu)對氣(qi)體的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)精(jing)確測量(liang)(liang)計量(liang)(liang)；

質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji))不但具有質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)的(de)測量(liang)(liang)計(ji)(ji)量(liang)(liang)功(gong)能，還(huan)具有自動控(kong)制(zhi)氣體的(de)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)功(gong)能。

型式(shi)批準證書(shu)：2011F215-11

執行(xing)Q/CYHMT001-2011企業標(biao)準

許可(ke)證編號：京(jing)制01050063號

3.主要技術(shu)指標

質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)器(流(liu)量計)流(liu)量出(chu)廠通常用(yong)氮氣(N2)標定(ding)。

質量流(liu)量單位(wei)為：mL/min（毫(hao)升/分(fen)鐘）；(SCCM行業標準)

L/min （升/分鐘）。  (SLM行業標(biao)準)

標(biao)準狀態為：溫度----273.15K（0℃）；

   ;         氣(qi)壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量(liang)程值(zhi)

S49 32/MT質量流量計

表(biao)1 S49 32/MT質量流量控制(zhi)器(流量計)技術指標