S48-300/HMT 質量流量計廣(guang)泛(fan)應用(yong)于半導體制(zhi)造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的(de)氣流測量與控制(zhi)。
S48-300/HMT 質量流量計
使用(yong)范圍
質量流量控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)廣泛(fan)應用于半導體制(zhi)(zhi)造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業(ye)的氣流測(ce)量與控(kong)制(zhi)(zhi)。
1.2 質量流量控制(zhi)器和質量流量計
質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量(liang)測量(liang)和流量(liang)控制兩種(zhong)功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫(xie)為MFM)，只有流(liu)量測量功能，不具(ju)備氣流(liu)控(kong)制功能。
1.3 S48 300/HMT質量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器(qi)是在引進(jin)HORIBA STEC技術基礎上，結(jie)合國(guo)內需要而(er)研制(zhi)的一(yi)種數字式質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器(qi)產品(pin)，采用當今(jin)*的32位ARM系列(lie)處理器做數字(zi)控(kong)制。具(ju)有流(liu)量精度(du)(du)高、線性好、零(ling)漂小、氣(qi)流響應速度(du)(du)快、過沖小等特點(dian)。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放(fang)協(xie)議(yi)。協(xie)議(yi)簡單可靠，兼容(rong)性強，易于組網(wang)。配(pei)合上(shang)位(wei)機(ji)，可進(jin)行各種復(fu)雜的計量、控制(zhi)操作及組態。
☆耐壓高及適用于真空(kong)條件下(xia)工作。氣(qi)體流量不(bu)因(yin)溫度、壓力的變(bian)化而變(bian)化。氣(qi)阻較(jiao)小，工作壓力范圍寬。
☆主體采(cai)用(yong)不銹鋼（316L）結構，氣密材料采(cai)用(yong)PTFE、氟橡(xiang)膠等。耐腐(fu)蝕性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容(rong)數字和(he)模擬控制及顯(xian)示(shi)，使用方(fang)便。易于與(yu)電氣或自動控制系(xi)統(tong)配合。
配合MT-50或51系列流量(liang)顯示儀，可對氣流的(de)瞬時流量(liang)進行精確(que)測量(liang)和計量(liang)。
S48-300/HMT 質量流量計
S48 300/HMT數字(zi)流量(liang)控(kong)制器技術(shu)指(zhi)標(biao)
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(gui)格(ge) | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥(fa)類型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥(fa)靜止狀態 | 常閉(bi) |
4 | 安裝角度(du) | 任意 |
5 | 流量控制范圍(wei) | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應(ying)時(shi)間 | ≤ 1 sec |
8 | 工(gong)作環(huan)境溫(wen)度 | 5-50℃ |
9 | 精(jing)度(du)保證溫度(du) | 15-35℃ |
10 | 精(jing)度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性(xing)精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復(fu)性(xing) | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓(ya)差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄(xie)漏(lou)率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材(cai)料(liao) | 316L，Viton? 氟橡膠，PTFE |
17 | 管路接(jie)頭(tou) | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源(yuan) | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設定信(xin)號(hao) | 數(shu)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
20 | 流量輸出信號(hao) | 數字：RS485/RS232 模(mo)擬：0 - +5V，負(fu)載能力≤3mA |
21 | 通訊(xun)接(jie)口 | 數字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xie)議從機，設備號可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
4.2 訂(ding)貨規范
在訂貨時應指(zhi)明是質量流量控(kong)制器還是質量流量計(ji)，指(zhi)明S48 300/HMT產品型(xing)號(hao)，流量規格(ge)，使(shi)用(yong)氣體(ti)種(zhong)類，管接頭種(zhong)類。
例(li)如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chan)品型號) 500mL/min(流量規格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)
在貯(zhu)運過程中，不要打開產品包裝，注意防(fang)雨、防(fang)塵、防(fang)磕碰。
不(bu)能在ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存放。
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