南京S49 33/MT 質量(liang)流量(liang)計采用中華人民共和國電子行業標準SJ/T10583-94以及SJ37所規定的通用技(ji)術條件及命名(ming)方法。
南京S49 33/MT 質量流量計
氣體質量流量控(kong)制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮(suo)寫(xie)為MFC(MFM)）是(shi)對(dui)氣體的質(zhi)量流(liu)量進(jin)行(xing)精密測量和控制的設備。
S49系列質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(流(liu)量(liang)計)特點：
*采用(yong)主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸(chu)部分(fen)采用(yong)鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四(si)氟乙烯等(deng)
*適用于各種(zhong)腐蝕(shi)性氣體
*氣體流量(liang)不因溫(wen)度、壓力(li)的變化(hua)而失準
*高精度
*重復性好
*響應速度快、軟啟動、穩定可靠(kao)
*低壓(ya)降
*工作(zuo)壓(ya)(ya)力范圍寬（可以在高壓(ya)(ya)或(huo)真空條件下(xia)工作(zuo)）。
*操作(zuo)使用方便，可任意位(wei)置安(an)裝
*便于(yu)與計算機(ji)連接實現自動控制。
S49系列質(zhi)量流量控(kong)制器(qi)(流量計)主要應(ying)用領域：
*半導體(ti)制造行業的氣體(ti)流量控制
*分析儀(yi)器設備的(de)氣體計量與控制
*各種(zhong)形(xing)式的真空(kong)鍍膜設備
*環境(jing)檢測與分(fen)析設(she)備(bei)
*化(hua)工、石化(hua)、食(shi)品行業(ye)氣(qi)體(ti)流量監測(ce)和控制
*特種(zhong)材料表面處(chu)理(li)裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統(tong)和泄漏探測系統(tong)等
2．S49系列質量(liang)流量(liang)控(kong)制(zhi)器(流量(liang)計)型號
本產品采用中(zhong)華人(ren)民共和國(guo)電子行業標準SJ/T10583-94以及(ji)SJ37所(suo)規定的通用技術條件及(ji)命(ming)名方法。
質量(liang)流(liu)量(liang)計主要精確測量(liang)氣體流(liu)量(liang)，質量(liang)流(liu)量(liang)控制器不但具有質量(liang)流(liu)量(liang)計的(de)功能還具備自動控制氣體流(liu)量(liang)的(de)功能。
型(xing)式批(pi)準證書:2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準(zhun)
許可證(zheng)編號：京制01050063號
3．主要技術指標
質量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標(biao)定。
質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)的單位規定(ding)為: 標(biao)準(zhun)狀態mL/min (毫升(sheng)/分(fen)鐘) (SCCM行(xing)業標準)
標(biao)準狀態L/min （升/分鐘） (SLM行業標(biao)準)
標準狀(zhuang)態(tai)規(gui)定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
南京S49 33/MT 質量流量計
表(biao)1 S49 33M/MT型質(zhi)量流(liu)量控制器(流(liu)量計)技術指標
編號 | 項目(mu) | S49 33/MT | ||
1 | 流量規格(ge) | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調(diao)節閥類型 | 電(dian)磁(ci)調節(jie)閥 | ||
3 | 調節閥靜(jing)止(zhi)位置 | 常閉 | ||
4 | 準確(que)度(du) | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重復(fu)精度 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應時間 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工(gong)作(zuo)壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐壓(ya) | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作環境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不(bu)銹鋼316L | ||
12 | 標準密封材料(liao) | Viton?﹑EPDM, 或(huo)其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟(ruan)管接頭Ф4mm～Ф10mm 或(huo)其(qi)它 | ||
15 | 輸入輸出信號(hao) | 0 V ～ +5.00 V (輸(shu)入阻抗大于(yu)100K, 輸(shu)出電流不大于(yu)3mA) | ||
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器(流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji))分不同的流(liu)(liu)量(liang)(liang)范圍，供用戶選擇，也(ye)可根據用戶提出流(liu)(liu)量(liang)(liang)定制(zhi)。
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