南京S49 31/MT 質量流量計主體(ti)采(cai)用不銹鋼（316L）結構，氣密(mi)材料采(cai)用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種(zhong)耐腐蝕性氣體(ti)。
南京S49 31/MT 質量流量計
質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的(de)質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)。質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)（Mass Flow Meter縮寫為(wei)MFM）,用(yong)于對氣體的質量流量進行(xing)精密測量。
S49 31 質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制器和質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計特(te)點：
☆主體采(cai)用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON?、聚四氟(fu)乙烯(xi)等(deng)。適(shi)用于各種(zhong)耐腐蝕性氣(qi)體。
☆耐壓高(gao)及適用于真空條件下工(gong)作。低壓降。工(gong)作壓力范(fan)圍(wei)寬，氣體流量(liang)不因溫度、壓力的變化(hua)而變化(hua)。
☆具有精度高(gao)、重復性好、響應(ying)速度快、軟啟動(dong)、工作(zuo)穩定可靠。
☆可(ke)任意位置安裝。電氣(qi)操作控(kong)制顯示(shi)，使用方(fang)便(bian)。易于與電氣(qi)系統或自動控(kong)制系統配合。
☆配合MT-60 系(xi)列流量(liang)(liang)積算(suan)儀，可(ke)對氣體的瞬時(shi)流量(liang)(liang)和累(lei)積流量(liang)(liang)進行精確計量(liang)(liang)。
S49 31 質量(liang)流量(liang)控(kong)制器和質量(liang)流量(liang)計(ji)主要(yao)應(ying)用領域：
半導體制(zhi)造行(xing)業的氣體流量(liang)控(kong)制(zhi)；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各(ge)種形(xing)式的真(zhen)空鍍膜(mo)設備；
環境檢(jian)測與分析設備；
化工(gong)、石化、食品、冶(ye)金(jin)、光(guang)纖熔煉等行業氣體流(liu)量檢測和控制；
特種(zhong)材料表面處理裝置與燃燒控制(zhi)；
混氣(qi)配(pei)氣(qi)系統和(he)泄露(lu)探測系統等。
2、S49系列質量(liang)流量(liang)控制器(qi)和質量(liang)流量(liang)計型號
S49 31 系列質量流量控制器，S49為質(zhi)量流(liu)(liu)量控制器(qi)和質(zhi)量流(liu)(liu)量計產品，31/MT為本(ben)公(gong)司(si)此(ci)產品設計序列號。
其中(zhong)：S49 31/MT 系列為質量流量控(kong)制器。
S49 31A/MT 系(xi)列(lie)為(wei)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計。
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)計用于氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)精確(que)測(ce)量(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)；質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制器(qi)不(bu)但具(ju)有質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)計的測(ce)量(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)功(gong)能(neng)，還具(ju)有自(zi)動控(kong)制氣體(ti)流(liu)量(liang)(liang)(liang)的功(gong)能(neng)。
執行Q/CYHMT001-2011企(qi)業標準
南京S49 31/MT 質量流量計
3、 主(zhu)要(yao)技術指標(biao)
質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標(biao)定。
質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業標準）；
標準狀態L/min （升/分鐘(zhong)）（SLM行業(ye)標(biao)準）。
標準狀態為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表(biao)示(shi)滿量程值
表1 S49 31/MT流量(liang)控制(zhi)器、S49 31A/MT流量(liang)計技術指標
編(bian)號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量規格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調節閥類型 | 電(dian)磁調節閥 | |
3 | 調節閥靜(jing)止狀(zhuang)態(tai) | 常閉 | |
4 | 準確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% F.S) | |
5 | 線(xian)性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重復(fu)精度(du) | ±0.2%F.S | |
7 | 響應(ying)時(shi)間 | (3～4)s | |
8 | 工作壓差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作環境溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料(liao) | 不銹鋼316L | |
12 | 標準密封材料(liao) | Viton?， EPDM， 或其他由用戶zhi定(ding) | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 輸(shu)入輸(shu)出信號 | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出(chu)電流能力≤3mA) | |
16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸(cun)mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
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