Hope皓(hao)而普(pu)S49 33/MT 質量(liang)流量(liang)計(ji)采用(yong)中華人民共和國電子(zi)行業標準(zhun)SJ/T10583-94以及SJ37所規(gui)定的通用(yong)技術條件(jian)及命(ming)名(ming)方(fang)法。
Hope皓而普S49 33/MT 質量流量計
氣體質(zhi)量流量控制器（流量計(ji)）（Mass gas flow controller（meter））縮(suo)寫為MFC(MFM)）是(shi)對氣體的(de)(de)質量流量進行精密測量和(he)控制的(de)(de)設備。
S49系列質量流(liu)量控制器(流(liu)量計)特(te)點：
*采(cai)用主體(ti)不銹鋼（316L）結構，與氣(qi)體(ti)接(jie)觸部分(fen)采(cai)用鐵素(su)體(ti)高耐腐蝕軟磁(ci)不銹鋼、VITON?、聚(ju)四氟乙烯等
*適用于各種(zhong)腐(fu)蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的(de)變(bian)化而失準
*高精(jing)度
*重復性好
*響應速度快、軟啟動、穩(wen)定可靠
*低壓降
*工作(zuo)壓力范(fan)圍寬（可(ke)以在(zai)高壓或(huo)真空(kong)條件下(xia)工作(zuo)）。
*操作(zuo)使用方便，可任(ren)意位置安裝
*便于與計算機連(lian)接實現自動控制(zhi)。
S49系(xi)列(lie)質量流量控制器(流量計)主要應用領(ling)域：
*半導(dao)體(ti)制(zhi)造行業的氣(qi)體(ti)流量控制(zhi)
*分析(xi)儀(yi)器設備的氣體計量(liang)與控制
*各種形式的(de)真(zhen)空鍍(du)膜設備
*環境檢測與分析設備
*化(hua)工、石化(hua)、食(shi)品(pin)行(xing)業氣體流(liu)量監(jian)測和控制
*特種材料表面處理裝(zhuang)置(zhi)與燃燒控制
*混氣(qi)配氣(qi)系統和泄漏探測系統等
2．S49系列質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器(流(liu)量(liang)(liang)計)型號
本產品(pin)采用(yong)中華(hua)人民共(gong)和國電子行業(ye)標準SJ/T10583-94以及(ji)(ji)SJ37所規定的通用(yong)技術(shu)條件及(ji)(ji)命名(ming)方法。
質(zhi)量流(liu)量計主(zhu)要精確測量氣體流(liu)量，質(zhi)量流(liu)量控(kong)制器不但具有質(zhi)量流(liu)量計的功(gong)能(neng)(neng)還具備自動控(kong)制氣體流(liu)量的功(gong)能(neng)(neng)。
型式批準證書:2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證(zheng)編號：京制01050063號
3．主要技術指標(biao)
質(zhi)量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)出(chu)廠通常(chang)用氮氣（N2）標定。
質量流量的單(dan)位規(gui)定為: 標準狀(zhuang)態mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業標準(zhun))
標準(zhun)(zhun)狀態(tai)L/min （升(sheng)/分(fen)鐘(zhong)） (SLM行業(ye)標準(zhun)(zhun))
標準狀態規定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
Hope皓而普S49 33/MT 質量流量計
表1 S49 33M/MT型質量(liang)流量(liang)控制器(qi)(流量(liang)計)技術指標
編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量規格(ge) | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調節(jie)閥類型 | 電磁調節閥 | ||
3 | 調節閥靜止位置(zhi) | 常閉 | ||
4 | 準確度(du) | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重(zhong)復精(jing)度 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應時(shi)間 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工作(zuo)壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐(nai)壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作(zuo)環境溫(wen)度(du) | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不銹鋼(gang)316L | ||
12 | 標準密封(feng)材料 | Viton?﹑EPDM, 或其(qi)他(ta) | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接(jie)頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接(jie)頭Ф4mm～Ф10mm 或其它(ta) | ||
15 | 輸(shu)(shu)入輸(shu)(shu)出信(xin)號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大(da)(da)于100K, 輸出(chu)電(dian)流(liu)不大(da)(da)于3mA) | ||
16 | 電源(yuan) | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)(流(liu)量(liang)計)分(fen)不同的流(liu)量(liang)范圍，供用戶選(xuan)擇，也可(ke)根據用戶提出流(liu)量(liang)定制。
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