Hope皓而普S49 31/MT 質量流量計

質(zhi)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xie)為MFC）用于對(dui)氣體的質量流(liu)量進(jin)行(xing)精密測量和控制(zhi)。質量流(liu)量計（Mass Flow Meter縮(suo)寫為MFM）,用于對氣體的(de)質量流量進行精密(mi)測量。

S49 31 質量(liang)流量(liang)控制器(qi)和(he)質量(liang)流量(liang)計特點：

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jie)構，氣密(mi)材料采用VITON?、聚四氟乙烯(xi)等。適(shi)用于各種耐(nai)腐蝕性(xing)氣體。

☆耐壓(ya)高(gao)及適用于(yu)真空條件下工作(zuo)。低壓(ya)降。工作(zuo)壓(ya)力范圍寬，氣體流量不(bu)因溫度(du)、壓(ya)力的變化而變化。

☆具有(you)精(jing)度(du)高、重復性好、響應速度(du)快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位(wei)置安裝。電(dian)氣(qi)操作(zuo)控制(zhi)顯示，使(shi)用方便。易于與電(dian)氣(qi)系統(tong)或自(zi)動控制(zhi)系統(tong)配合。

☆配合MT-60 系列流(liu)量(liang)積算儀(yi)，可(ke)對氣體(ti)的瞬時流(liu)量(liang)和累積流(liu)量(liang)進行精確計量(liang)。

S49 31 質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器和質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)主要(yao)應用(yong)領域：

半導體制(zhi)造行業的氣體流量控制(zhi)；

分析儀器設備的氣體(ti)計量與控制；

各種形式的真(zhen)空鍍膜設備；

環(huan)境檢測與分(fen)析設(she)備；

化工、石化、食(shi)品、冶金、光纖熔煉(lian)等(deng)行業氣體流量檢測和控制；

特(te)種材(cai)料表面(mian)處理裝(zhuang)置與燃燒控制(zhi)；

混(hun)氣配氣系統和泄露(lu)探測系統等。

2、S49系列質量(liang)流量(liang)控制器和(he)質量(liang)流量(liang)計型號

S49 31 系列質量流量控制器，S49為質量流(liu)量控(kong)制器和質量流(liu)量計產(chan)品，31/MT為本公司此產品設計(ji)序列號(hao)。

其(qi)中：S49 31/MT 系(xi)列為(wei)質量流量控制(zhi)器。

S49 31A/MT 系列為質量(liang)流量(liang)計。

質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)計(ji)用于氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)精確測量(liang)(liang)(liang)計(ji)量(liang)(liang)(liang)；質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控制器不但具有質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)計(ji)的測量(liang)(liang)(liang)計(ji)量(liang)(liang)(liang)功(gong)能(neng)，還具有自動控制氣體流(liu)量(liang)(liang)(liang)的功(gong)能(neng)。

執行Q/CYHMT001-2011企業標準  

Hope皓而普S49 31/MT 質量流量計

3、 主要技(ji)術(shu)指(zhi)標

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫(hao)升/分鐘）   （SCCM行業標準）；

               標準狀態L/min   （升/分鐘）（SLM行業標準）。

標準狀態為：溫度----0℃；

           氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程(cheng)值

表(biao)1 S49 31/MT流(liu)量控(kong)制器、S49 31A/MT流(liu)量計技術(shu)指標