皓而普S49 33/MT 質量流量計

氣體質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器(qi)（流(liu)量(liang)計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進(jin)行(xing)精密測量和控(kong)制的設備。

S49系列質量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)特點(dian)：

*采用(yong)(yong)主(zhu)體(ti)不(bu)銹(xiu)鋼(gang)（316L）結構，與氣(qi)體(ti)接(jie)觸部分采用(yong)(yong)鐵素體(ti)高耐腐蝕軟(ruan)磁不(bu)銹(xiu)鋼(gang)、VITON?、聚(ju)四氟乙(yi)烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流(liu)量不因(yin)溫度(du)、壓力的變化而失準

*高精度  

*重復(fu)性好(hao)

*響應速度快(kuai)、軟啟動、穩定可靠

*低壓降

*工(gong)作壓(ya)力范圍(wei)寬（可以(yi)在高壓(ya)或真(zhen)空條件(jian)下工(gong)作）。

*操作使用方便，可任意(yi)位置安(an)裝

*便于與(yu)計(ji)算(suan)機連接(jie)實現自動控制。

S49系列(lie)質量(liang)流量(liang)控(kong)制器(qi)(流量(liang)計)主要應用領域：

*半(ban)導體(ti)(ti)制造行(xing)業的(de)氣體(ti)(ti)流量控(kong)制

*分析儀器設備的氣(qi)體計量與控制(zhi)

*各種形(xing)式的真空鍍膜設備

*環境檢測(ce)與分析設備

*化(hua)(hua)工、石化(hua)(hua)、食品行(xing)業氣體流(liu)量監測和控制(zhi)

*特種(zhong)材料表面處(chu)理裝置與燃燒控制(zhi)

*混氣(qi)配氣(qi)系統和泄(xie)漏探測系統等(deng)

2．S49系列質量流量控制器(流量計(ji))型號

本產品(pin)采用(yong)中華人民共和國電子(zi)行(xing)業標準SJ/T10583-94以(yi)及SJ37所規定的(de)通(tong)用(yong)技術條件及命名方法。

質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計主要(yao)精(jing)確測量(liang)(liang)氣(qi)體流(liu)(liu)量(liang)(liang)，質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器不但(dan)具有質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計的功能還具備(bei)自動控制氣(qi)體流(liu)(liu)量(liang)(liang)的功能。

型式批(pi)準證書(shu):2011F215-11

執行Q/CYHMT001-2011企業標準(zhun)

許可(ke)證(zheng)編號(hao)：京(jing)制01050063號(hao)

3．主要技術(shu)指標(biao)

質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器(流量(liang)(liang)計)出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量的單位(wei)規定為: 標(biao)準(zhun)狀態mL/min  (毫升(sheng)/分鐘) (SCCM行業標準)

標(biao)準(zhun)狀態L/min   （升/分(fen)鐘）  (SLM行業(ye)標(biao)準(zhun))

標準狀態(tai)規定為:溫度 ---   0℃

氣壓(ya) —  101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量(liang)程值

皓而普S49 33/MT 質量流量計

表1 S49 33M/MT型質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制器(流(liu)(liu)量(liang)計)技(ji)術指標

注意： S49系(xi)列質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器(流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計)分不(bu)同的流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)范圍(wei)，供用(yong)戶選擇(ze)，也(ye)可根據用(yong)戶提出流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)定制。