皓而普S49 31/MT 質量流量計

質量(liang)流(liu)量(liang)控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣(qi)體的質量流(liu)量進行精密測量和控制。質量流(liu)量計（Mass Flow Meter縮寫為(wei)MFM）,用于對氣體的質(zhi)量流量進行精密測量。

S49 31 質量(liang)流量(liang)控制器和質量(liang)流量(liang)計特點：

☆主體采用不銹(xiu)鋼（316L）結構(gou)，氣密材料采用(yong)VITON?、聚四氟乙烯等(deng)。適用于(yu)各種耐腐蝕(shi)性氣體。

☆耐(nai)壓高及適用(yong)于(yu)真(zhen)空(kong)條件下工作。低壓降。工作壓力(li)范圍寬，氣體(ti)流量(liang)不因溫度、壓力(li)的(de)變化而變化。

☆具(ju)有精度高、重復性(xing)好、響應速度快、軟啟動(dong)、工(gong)作穩(wen)定可靠。

☆可任(ren)意位置(zhi)安裝(zhuang)。電氣操(cao)作(zuo)控制(zhi)顯(xian)示，使用方(fang)便。易于與電氣系統或(huo)自動控制(zhi)系統配(pei)合。

☆配合(he)MT-60 系(xi)列流量(liang)積算(suan)儀，可對氣體(ti)的瞬時流量(liang)和(he)累積流量(liang)進行(xing)精確(que)計量(liang)。

S49 31 質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器和質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)主要應(ying)用領域：

半導體(ti)制造行業的(de)氣體(ti)流量控制；

分析儀器(qi)設備的氣體(ti)計量與控制；

各種形式的真空(kong)鍍(du)膜設備(bei)；

環境檢測與(yu)分析設備；

化(hua)工、石(shi)化(hua)、食品(pin)、冶金、光纖熔煉等(deng)行業氣體流量(liang)檢測和控制(zhi)；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣(qi)配氣(qi)系統(tong)和泄露探測(ce)系統(tong)等。

2、S49系列質(zhi)量(liang)流量(liang)控制(zhi)器和(he)質(zhi)量(liang)流量(liang)計型號

S49 31 系列質量流量控制器，S49為質(zhi)量(liang)流量(liang)控制(zhi)器和質(zhi)量(liang)流量(liang)計產(chan)品，31/MT為本公司此(ci)產品設計(ji)序列號。

其中：S49 31/MT 系列為質(zhi)量(liang)流量(liang)控制器。

S49 31A/MT 系列為質量流(liu)量計(ji)。

質量流量計(ji)(ji)用于氣(qi)體質量流量精確測(ce)量計(ji)(ji)量；質量流量控制器不但具有(you)質量流量計(ji)(ji)的測(ce)量計(ji)(ji)量功(gong)能(neng)，還具有(you)自動控制氣(qi)體流量的功(gong)能(neng)。

執(zhi)行Q/CYHMT001-2011企業標準  

皓而普S49 31/MT 質量流量計

3、 主(zhu)要技術指標

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫(hao)升(sheng)/分鐘）   （SCCM行業標準）；

               標準狀態L/min   （升/分鐘(zhong)）（SLM行(xing)業(ye)標準）。

標準狀態為：溫度----0℃；

           氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量(liang)程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計(ji)技(ji)術指(zhi)標