南京S49 32/MT 質量流量計耐壓(ya)高及適用于(yu)真(zhen)空條件下工作(zuo)。低壓(ya)降。工作(zuo)壓(ya)力(li)范圍(wei)寬，氣體流量不因溫(wen)度、壓(ya)力(li)的變(bian)化而變(bian)化。
南京S49 32/MT 質量流量計
特點及(ji)主(zhu)要應用(yong)領域
S49 32/MT 質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器(流(liu)量(liang)計)特點：
☆耐壓(ya)高(gao)及(ji)適用(yong)于真空條(tiao)件(jian)下工作。低壓(ya)降。工作壓(ya)力范圍寬，氣體流量(liang)不(bu)因溫度、壓(ya)力的變化(hua)而(er)變化(hua)。
☆主體采用(yong)不銹鋼（316L）結(jie)構，氣密材料(liao)采用(yong)VITON?、聚四氟(fu)乙烯等。適用于各種耐腐蝕(shi)性氣(qi)體。
☆具有精度(du)高、重復性(xing)好、響(xiang)應速度(du)快、軟啟動、工(gong)作(zuo)穩定可靠。
☆可任意位置安裝。電(dian)氣操(cao)作控制顯示，使用方(fang)便。易于與(yu)電(dian)氣系(xi)統(tong)或自動(dong)控制系(xi)統(tong)配合。
☆配(pei)合MT-60 系列(lie)流(liu)量(liang)積算儀(yi)，可(ke)對氣(qi)體的瞬時(shi)流(liu)量(liang)和(he)累積流(liu)量(liang)進(jin)行精(jing)確計量(liang)。
S49 32/MT 質量(liang)流量(liang)控(kong)制器(流量(liang)計)主要(yao)應(ying)用(yong)領域：
半導(dao)體制(zhi)造行(xing)業(ye)的氣體流(liu)量控制(zhi)；
分析儀器設(she)備(bei)的氣體計量與(yu)控制；
各種形式(shi)的(de)真空鍍膜設備；
環境(jing)檢測(ce)與(yu)分析(xi)設備；
化工、石化、食品(pin)、冶(ye)金、光纖熔煉等(deng)行(xing)業氣體流量檢(jian)測和控(kong)制(zhi)；
特種(zhong)材料表面處理裝置與燃燒控制；
混(hun)氣配氣系(xi)統和(he)泄露探測系(xi)統等(deng)。
2. S49系列質量流(liu)(liu)量控制器(流(liu)(liu)量計(ji))型(xing)號
S49 32/MT 系列質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(流(liu)量(liang)計)，S49為質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(流(liu)量(liang)計)產(chan)品，32/MT為本(ben)公司此(ci)產(chan)品設計序列號(hao)。
質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)用于對氣體的質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)精確(que)測量(liang)(liang)計(ji)量(liang)(liang)；
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器(流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計)不但具(ju)有質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計的測量(liang)(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)(liang)功能，還具(ju)有自(zi)動控(kong)制氣(qi)體的質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)功能。
型式批準證書：2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證編號：京(jing)制01050063號
3.主(zhu)要技術指標
質量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計(ji))流量(liang)出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘(zhong)）；(SCCM行業標準)
L/min （升/分鐘(zhong)）。 (SLM行業標準)
標準狀態為(wei)：溫度----273.15K（0℃）；
; 氣壓(ya)----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表(biao)示滿量(liang)程(cheng)值
南京S49 32/MT 質量流量計
表1 S49 32/MT質量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器(流(liu)(liu)量(liang)(liang)計)技術(shu)指標
編號 | 項目 | S49 32/MT |
1 | 流量規格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調節閥(fa)類型 | 電磁調節(jie)閥 |
3 | 調(diao)節閥靜止(zhi)狀態 | 常閉 |
4 | 準(zhun)確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線(xian)性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響(xiang)應(ying)時間 | ≤8秒（T95） |
8 | 工作壓(ya)差范圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐(nai)壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作(zuo)環境溫度 | （5～45）℃ |
11 | 材料(liao) | 不(bu)銹鋼316L |
12 | 標(biao)準密封材料 | Viton?， EPDM， 或其他(ta)由用戶zhi定(ding) |
13 | 漏(lou)率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其(qi)他由用戶zhi定(ding) |
15 | 輸入輸出信號 | （0～＋5.00）V (輸(shu)入阻抗≥100KΩ,負載輸(shu)出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源(yuan) | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬(kuan)）×102（高(gao)）×28（厚） |
18 | 重量kg | 0．8 |
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