南京S48 300/HMT 質量流量計廣泛應用于(yu)半導體制(zhi)造(zao)、真(zhen)空鍍膜、分析、化工、環(huan)境等行業的(de)氣流測(ce)量(liang)與控(kong)制(zhi)。
南京S48 300/HMT 質量流量計
使用范圍
質量(liang)流量(liang)控制器廣泛應用于半導體制造(zao)、真(zhen)空鍍膜、分析、化工、環境等行業(ye)的氣流測量(liang)與控制。
1.2 質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器和質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計
質量流(liu)量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量(liang)(liang)測量(liang)(liang)和流量(liang)(liang)控(kong)制兩(liang)種(zhong)功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為(wei)MFM)，只有(you)流量測量功能(neng)(neng)，不(bu)具備氣(qi)流控制功能(neng)(neng)。
1.3 S48 300/HMT質量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質量流量控制(zhi)器是在引進HORIBA STEC技(ji)術基礎上，結(jie)合(he)國內需(xu)要而研制(zhi)的一種(zhong)數字(zi)式質量流量控制(zhi)器產(chan)品，采用當(dang)今*的32位(wei)ARM系列處理器做數字控制。具有(you)流(liu)量精度(du)高、線性(xing)好(hao)、零漂小(xiao)、氣流(liu)響(xiang)應速度(du)快(kuai)、過沖(chong)小(xiao)等特點。
☆ RS232/485串口(kou)， Modbus（RTU）開放協議(yi)。協議(yi)簡單(dan)可靠，兼容(rong)性(xing)強(qiang)，易(yi)于組網。配合上位機，可進行各種(zhong)復雜的計量、控(kong)制操(cao)作(zuo)及組態。
☆耐壓高及(ji)適用(yong)于真空條件下工作。氣體流量不(bu)因溫度、壓力的變(bian)化(hua)而變(bian)化(hua)。氣阻較小，工作壓力范(fan)圍寬。
☆主體采(cai)用不銹鋼(gang)（316L）結構，氣密材料(liao)采(cai)用PTFE、氟橡膠(jiao)等(deng)。耐腐(fu)蝕(shi)性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數字和模擬控制及顯示(shi)，使用方便(bian)。易(yi)于與(yu)電氣或自動控制系統配合。
配(pei)合MT-50或51系列(lie)流(liu)量顯示儀，可對(dui)氣流(liu)的瞬時流(liu)量進行精確測(ce)量和計量。
南京S48 300/HMT 質量流量計
S48 300/HMT數字流量控制器技術指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(gui)格(ge) | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥類(lei)型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量(liang)控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流(liu)量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環(huan)境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證溫(wen)度 | 15-35℃ |
10 | 精(jing)度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重(zhong)復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工(gong)作(zuo)壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) ; 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓(ya) | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率(lv) | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體(ti)材料 | 316L，Viton? 氟橡(xiang)膠，PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電(dian)電(dian)源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設定信號 | 數字(zi)：RS485/RS232 模(mo)擬：0 - +5V，輸(shu)入阻抗＞10kΩ |
20 | 流量輸出信號 | 數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能(neng)力≤3mA |
21 | 通訊接(jie)口 | 數字RS232/RS485，波特率(lv)4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設備(bei)號可選范圍0-15 |
22 | 重(zhong)量(kg) | 0.9 |
4.2 訂貨規范(fan)
在訂貨時(shi)應(ying)指明是質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器還(huan)是質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計，指明S48 300/HMT產(chan)品型號(hao)，流量(liang)(liang)規格，使用氣體種類(lei)，管接頭種類(lei)。
例(li)如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產品型號) 500mL/min(流量規格) N2(氣體種(zhong)類) Φ6(管(guan)路接頭)
在貯運過程(cheng)中，不要打(da)開產(chan)品包(bao)裝，注意防雨、防塵、防磕(ke)碰。
不能在(zai)ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存放。
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