Hope皓而普S49 32/MT 質量流量計耐壓(ya)(ya)高及適用(yong)于(yu)真空條件下工作(zuo)。低(di)壓(ya)(ya)降。工作(zuo)壓(ya)(ya)力(li)范圍寬，氣體流量不因溫度(du)、壓(ya)(ya)力(li)的變(bian)化(hua)而變(bian)化(hua)。
Hope皓而普S49 32/MT 質量流量計
特(te)點及主要應用(yong)領域
S49 32/MT 質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器(流量(liang)計)特(te)點：
☆耐壓(ya)高及適(shi)用于真(zhen)空條件下工作。低壓(ya)降。工作壓(ya)力范圍寬，氣體流量(liang)不因(yin)溫度、壓(ya)力的(de)變(bian)化而變(bian)化。
☆主(zhu)體采用不銹鋼（316L）結構，氣(qi)密材料采用VITON?、聚四氟(fu)乙(yi)烯等。適用(yong)于各種耐(nai)腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復(fu)性好(hao)、響應(ying)速度快、軟啟動、工作穩定可(ke)靠。
☆可(ke)任意位(wei)置安裝。電氣操(cao)作控(kong)制顯(xian)示，使用方便(bian)。易于與電氣系統(tong)或(huo)自動控(kong)制系統(tong)配(pei)合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對(dui)氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主(zhu)要應(ying)用領域：
半導體(ti)制造(zao)行(xing)業的氣體(ti)流量控制；
分析(xi)儀器設(she)備的氣體計量與控制；
各種形(xing)式(shi)的(de)真空鍍(du)膜設備；
環境檢測與分析設備；
化(hua)工(gong)、石化(hua)、食品、冶金、光(guang)纖熔(rong)煉等(deng)行業氣(qi)體流量檢測和(he)控制；
特(te)種材料表(biao)面處理裝置與燃燒控制；
混氣(qi)配氣(qi)系(xi)統(tong)和泄露探測系(xi)統(tong)等。
2. S49系(xi)列質量流(liu)量控制器(流(liu)量計(ji))型號
S49 32/MT 系列質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器(流(liu)量(liang)(liang)計(ji))，S49為質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器(流(liu)量(liang)(liang)計(ji))產(chan)品，32/MT為本(ben)公司此(ci)產(chan)品設(she)計(ji)序列號。
質(zhi)量(liang)流量(liang)計用于對氣體的質(zhi)量(liang)流量(liang)精(jing)確測(ce)量(liang)計量(liang)；
質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器(流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計)不但具有(you)質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計的測量(liang)(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)(liang)功(gong)能(neng)，還具有(you)自動控(kong)制氣體(ti)的質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)功(gong)能(neng)。
型(xing)式批準證書：2011F215-11
執行(xing)Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證編號：京制01050063號
3.主要技術(shu)指標
質量流量控制器(流量計(ji))流量出廠通常(chang)用氮(dan)氣(N2)標定(ding)。
質量流(liu)量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標準(zhun))
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業標準)
標準(zhun)狀態為：溫度(du)----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值(zhi)
Hope皓而普S49 32/MT 質量流量計
表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 | 項目 | S49 32/MT |
1 | 流量規格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調節閥類型(xing) | 電(dian)磁(ci)調節閥 |
3 | 調節閥(fa)靜止狀態(tai) | 常閉(bi) |
4 | 準確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響(xiang)應時間(jian) | ≤8秒（T95） |
8 | 工作壓(ya)差(cha)范圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐(nai)壓(ya) | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環境溫(wen)度 | （5～45）℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標(biao)準(zhun)密封材料 | Viton?， EPDM， 或其(qi)他(ta)由(you)用戶(hu)zhi定 |
13 | 漏(lou)率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其(qi)他由用(yong)戶zhi定(ding) |
15 | 輸入輸出信號(hao) | （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fu)載輸出(chu)電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源(yuan) | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外(wai)形尺寸mm | 130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 | 重量kg | 0．8 |
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