Hope皓而普S48 300/HMT 質量流量計廣泛應用于(yu)半導體(ti)制造、真空(kong)鍍膜、分(fen)析、化工、環境等行業的氣流測(ce)量與(yu)控制。
Hope皓而普S48 300/HMT 質量流量計
使用范圍
質量流(liu)量控(kong)制器(qi)廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜(mo)、分析、化工、環境等行業的氣流(liu)測量與(yu)控(kong)制。
1.2 質量流(liu)量控制器和質量流(liu)量計
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xie)為MFC)，具備(bei)流(liu)(liu)量(liang)(liang)測量(liang)(liang)和流(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制兩(liang)種功能(neng)。
質(zhi)量流(liu)量計(Mass Flow Meter 縮寫為(wei)MFM)，只有流量(liang)測量(liang)功能(neng)，不(bu)具(ju)備氣流控制功能(neng)。
1.3 S48 300/HMT質量流(liu)量控(kong)制器(qi)的特點
☆ S48 300/HMT型質量流量控制器(qi)是(shi)在引(yin)進HORIBA STEC技術(shu)基礎(chu)上，結合(he)國內需(xu)要而研(yan)制的一(yi)種數字(zi)式質量流量控制器(qi)產(chan)品(pin)，采用(yong)當今*的32位(wei)ARM系(xi)列處理器(qi)做數字控制。具有流量精度高(gao)、線(xian)性(xing)好、零(ling)漂小(xiao)、氣流響應(ying)速度快、過沖小(xiao)等特點(dian)。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放(fang)協(xie)議。協(xie)議簡單可靠，兼容(rong)性強，易于組(zu)(zu)網。配合上位(wei)機，可進行各種復雜(za)的(de)計量、控制(zhi)操作及組(zu)(zu)態。
☆耐壓(ya)(ya)高及適用于真空(kong)條件下工作。氣(qi)體流量不因溫度、壓(ya)(ya)力的(de)變(bian)化(hua)而變(bian)化(hua)。氣(qi)阻較小(xiao)，工作壓(ya)(ya)力范圍寬。
☆主體采(cai)用(yong)不銹鋼(gang)（316L）結構，氣密材料采(cai)用(yong)PTFE、氟(fu)橡膠等(deng)。耐(nai)腐蝕性(xing)強。
☆可任意角(jiao)度安裝(zhuang)。
☆兼容數字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電(dian)氣或自動控制系統配合。
配合MT-50或(huo)51系列(lie)流量(liang)顯示儀(yi)，可(ke)對(dui)氣流的瞬(shun)時流量(liang)進行精確測量(liang)和計量(liang)。
Hope皓而普S48 300/HMT 質量流量計
S48 300/HMT數字(zi)流(liu)量(liang)控制器技(ji)術指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量(liang)規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥類(lei)型 | 電磁(ci)調節閥 |
3 | 調節閥(fa)靜(jing)止狀態(tai) | 常(chang)閉 |
4 | 安裝(zhuang)角度(du) | 任(ren)意 |
5 | 流量控(kong)制范圍(wei) | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測(ce)量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時(shi)間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度(du)保證溫度(du) | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工(gong)作壓差(cha) | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄(xie)漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料(liao) | 316L，Viton? 氟橡膠(jiao)，PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設定信(xin)號(hao) | 數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗(kang)＞10kΩ |
20 | 流(liu)量輸出(chu)信號 | 數字：RS485/RS232 模擬(ni)：0 - +5V，負載能力≤3mA |
21 | 通訊接(jie)口(kou) | 數字(zi)RS232/RS485，波特率(lv)4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設備號可選范圍(wei)0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
4.2 訂(ding)貨規(gui)范
在訂貨時應指明是質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器還(huan)是質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計，指明S48 300/HMT產(chan)品型號，流(liu)量(liang)規格，使用氣體種類，管接(jie)頭種類。
例如：MFC(或(huo)MFM)-S48 300/HMT(產品型(xing)號) 500mL/min(流(liu)量規格) N2(氣(qi)體種類(lei)) Φ6(管路接頭)
在貯運過程中，不要打(da)開產(chan)品包裝，注意防雨、防塵、防磕碰。
不能在(zai)ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存放。
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