皓而普S49 32/MT質量流量計耐(nai)壓高及適用(yong)于真空條(tiao)件下工作。低壓降。工作壓力(li)范(fan)圍寬，氣(qi)體(ti)流(liu)量不(bu)因(yin)溫度、壓力(li)的(de)變(bian)化而變(bian)化。
皓而普S49 32/MT質量流量計
特點及主要應用領域
S49 32/MT 質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(流量(liang)(liang)計)特(te)點：
☆耐(nai)壓(ya)高及適用(yong)于真空條件下工(gong)作(zuo)。低壓(ya)降。工(gong)作(zuo)壓(ya)力范圍寬，氣體流量不因溫(wen)度、壓(ya)力的變(bian)化而變(bian)化。
☆主(zhu)體采用不銹鋼（316L）結構，氣(qi)密材(cai)料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用(yong)于各種耐腐蝕性(xing)氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠(kao)。
☆可(ke)任意位置安裝(zhuang)。電氣(qi)操作控(kong)制顯示，使(shi)用方便。易于與(yu)電氣(qi)系統或自動(dong)控(kong)制系統配合(he)。
☆配(pei)合MT-60 系(xi)列流量(liang)積算(suan)儀(yi)，可對氣體的瞬時流量(liang)和(he)累(lei)積流量(liang)進行精確計量(liang)。
S49 32/MT 質量(liang)流量(liang)控制器(流量(liang)計)主要應用領(ling)域：
半導體制造行業的(de)氣體流量控制；
分析儀器設(she)備的氣(qi)體(ti)計量與(yu)控制；
各種形式的(de)真空鍍(du)膜設備；
環境檢(jian)測(ce)與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉(lian)等(deng)行業氣體流量檢測和控(kong)制(zhi)；
特種(zhong)材料表(biao)面處理裝(zhuang)置(zhi)與燃(ran)燒控制；
混氣配(pei)氣系統(tong)(tong)和泄露(lu)探測(ce)系統(tong)(tong)等。
2. S49系列質(zhi)量流量控制器(流量計(ji))型號(hao)
S49 32/MT 系列質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)控制器(qi)(流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)計(ji))，S49為質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)控制器(qi)(流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)計(ji))產品(pin)，32/MT為本公司此產品(pin)設(she)計(ji)序列號。
質(zhi)(zhi)量流(liu)量計用(yong)于對氣體的質(zhi)(zhi)量流(liu)量精(jing)確(que)測量計量；
質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(流(liu)量(liang)計(ji)(ji))不(bu)但(dan)具(ju)(ju)有(you)(you)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)(ji)的(de)測(ce)量(liang)計(ji)(ji)量(liang)功能，還具(ju)(ju)有(you)(you)自(zi)動(dong)控(kong)制(zhi)氣體的(de)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)功能。
型式批準(zhun)證書(shu)：2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標(biao)準
許可(ke)證編號：京制01050063號
3.主要技術(shu)指標
質(zhi)量流量控制(zhi)器(流量計)流量出廠通常用(yong)氮氣(N2)標定(ding)。
質(zhi)量(liang)流量(liang)單位(wei)為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標準)
L/min （升(sheng)/分鐘）。 (SLM行(xing)業標準)
標(biao)準(zhun)狀態為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓(ya)----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值(zhi)
皓而普S49 32/MT質量流量計
表1 S49 32/MT質量流量控制器(qi)(流量計)技術指標
編號 | 項目(mu) | S49 32/MT |
1 | 流量規格(ge) | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調(diao)節(jie)閥類型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常(chang)閉 |
4 | 準確度(du) | ±1.5%F.S |
5 | 線(xian)性 | ±1.5%F.S |
6 | 重(zhong)復精度(du) | ±0.2%F.S |
7 | 響應(ying)時間 | ≤8秒(miao)（T95） |
8 | 工作(zuo)壓差(cha)范(fan)圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環境溫度(du) | （5～45）℃ |
11 | 材料 | 不(bu)銹(xiu)鋼316L |
12 | 標(biao)準密(mi)封材料 | Viton?， EPDM， 或其他由用戶zhi定 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭(tou) | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶zhi定 |
15 | 輸入輸出(chu)信號 | （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載(zai)輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬(kuan)）×102（高）×28（厚） |
18 | 重量(liang)kg | 0．8 |
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