皓而普S48-300/HMT 質量流量計廣泛(fan)應用于半(ban)導體制造、真空鍍(du)膜、分析(xi)、化工、環境等行業的(de)氣流測(ce)量與控(kong)制。
皓而普S48-300/HMT 質量流量計
使用范圍(wei)
質量(liang)流量(liang)控制器廣泛應(ying)用于半導體(ti)制造(zao)、真空鍍膜、分析(xi)、化工、環境(jing)等行業的氣流測量(liang)與控制。
1.2 質(zhi)量流量控(kong)制(zhi)器和質(zhi)量流量計
質量流量控制(zhi)器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流(liu)量測量和流(liu)量控(kong)制(zhi)兩種功能。
質量(liang)流量(liang)計(Mass Flow Meter 縮寫為(wei)MFM)，只有流量測量功能，不(bu)具備(bei)氣流控制功能。
1.3 S48 300/HMT質量(liang)流量(liang)控制器(qi)的特(te)點
☆ S48 300/HMT型質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器是(shi)在引(yin)進HORIBA STEC技術基礎上，結合國(guo)內需要而研制(zhi)的一種(zhong)數字(zi)式質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器產品，采用當今*的32位ARM系列處(chu)理器做數字控制。具有(you)流量(liang)精度高、線性好、零漂小、氣流(liu)響應速度快、過沖小等特點。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放(fang)協議(yi)。協議(yi)簡單可靠，兼(jian)容性強(qiang)，易于(yu)組網。配(pei)合上位機，可進(jin)行(xing)各種復雜(za)的計(ji)量、控(kong)制操作及組態。
☆耐壓(ya)高及適(shi)用(yong)于真空條件下工(gong)作(zuo)。氣(qi)(qi)體(ti)流量不因溫度、壓(ya)力的(de)變化而變化。氣(qi)(qi)阻較小(xiao)，工(gong)作(zuo)壓(ya)力范圍寬。
☆主(zhu)體(ti)采(cai)用不(bu)銹鋼(gang)（316L）結構，氣密材(cai)料采(cai)用PTFE、氟(fu)橡膠等。耐腐蝕性強(qiang)。
☆可任意角度(du)安裝。
☆兼容數字和模擬控制(zhi)及顯(xian)示，使用方便。易于與電氣或自動控制(zhi)系統(tong)配合。
配合(he)MT-50或51系列流(liu)量(liang)顯示儀，可對氣流(liu)的瞬時流(liu)量(liang)進(jin)行精確測量(liang)和計量(liang)。
皓而普S48-300/HMT 質量流量計
S48 300/HMT數字流量(liang)控制器技術(shu)指標
編號(hao) | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥(fa)類型(xing) | 電(dian)磁調(diao)節閥 |
3 | 調節閥靜止(zhi)狀態 | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意(yi) |
5 | 流量控制(zhi)范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測(ce)量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作(zuo)環(huan)境溫(wen)度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證(zheng)溫(wen)度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線(xian)性精度(du) | ±0.5%F.S. |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材(cai)料 | 316L，Viton? 氟橡膠(jiao)，PTFE |
17 | 管路(lu)接頭(tou) | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供(gong)電(dian)電(dian)源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設定信號 | 數字(zi)：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻(zu)抗(kang)＞10kΩ |
20 | 流量輸出信號 | 數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載(zai)能力≤3mA |
21 | 通訊接口 | 數(shu)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議(yi)從機，設備(bei)號可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
4.2 訂貨規范
在(zai)訂貨時應指(zhi)明是質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器還是質量(liang)流(liu)量(liang)計，指(zhi)明S48 300/HMT產品型號(hao)，流(liu)量(liang)規格，使用氣體種類，管接頭種類。
例如(ru)：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chan)品(pin)型號) 500mL/min(流量規格) N2(氣體種類(lei)) Φ6(管(guan)路接(jie)頭)
在貯(zhu)運(yun)過程中，不要打開產(chan)品(pin)包裝，注意防(fang)雨、防(fang)塵、防(fang)磕碰。
不能在(zai)ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存(cun)放。
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