南京GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣(qi)相色譜儀適用(yong)于(yu)高純氣(qi)體(ti)、超高純氣(qi)體(ti)及電子工業用(yong)氣(qi)體(ti)中(zhong)痕量雜質的檢測。該產品以GC-9860氣相色譜儀(yi)為載(zai)體，配備VALCO公司生產的氦離(li)子(zi)化（PDHID）檢測器(qi)；采用公司擁有(you)專業(ye)技術(shu)(shu)的四閥五(wu)柱(zhu)的中(zhong)心切割與反(fan)吹技術(shu)(shu)，其(qi)中(zhong)的所有(you)進樣和切換閥均為VALCO公司生(sheng)產的帶(dai)吹掃保(bao)護氣路的六通(tong)或(huo)十(shi)通(tong)閥(fa)；上述部分與(yu)VALCO公司原裝的氦氣(qi)純化(hua)器、無(wu)死體積取樣(yang)閥等(deng)部件一起組成一套完(wan)整的高純氣(qi)體分析解決方案。
高(gao)純氣(qi)體(ti)的(de)分(fen)析(xi)是一(yi)個(ge)復雜的(de)過程，不(bu)僅需(xu)要(yao)高(gao)靈敏的(de)檢測器，還要(yao)考慮樣品(pin)本身的(de)特性及其背景，如吸(xi)附、取樣及分(fen)析(xi)過程中(zhong)是否有(you)空氣(qi)混入、系統(tong)的(de)密閉性、系統(tong)的(de)死體(ti)積等環節，公司總結(jie)了(le)高(gao)純氣(qi)體(ti)分(fen)析(xi)過程中(zhong)的(de)技(ji)術難點，并給出了(le)所(suo)有(you)難點的(de)解(jie)決措施，使GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀(yi)成(cheng)為guo內zui專業的高純氣體分析系統，很好的完成了氣體中微量雜質，特別是ppb級的雜質的分析。

南京GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀

產品的特點與技術要求:

1.氣體行業專業色(se)譜技(ji)術成套(tao)解決方案

2.采用VICI公司Valco帶吹掃型十通(tong)與六通(tong)切換(huan)閥控制(zhi)氣路

3.應用氣體分離專用色(se)譜柱分離預切再分離技(ji)術

4.采用本公司zhuan利技(ji)術的可分離(li)與嵌入式單(dan)體控溫柱爐(lu)

5.工藝流(liu)程(cheng)采用多(duo)路精密零死(si)體專用閥控制(zhi)多(duo)維色譜分離柱流(liu)量(liang)

6.分析流(liu)程全部采用Valco公司316不(bu)銹鋼管(guan)路(lu)與專用鍍金(jin)接頭

7.核心靈敏(min)部件(jian)采(cai)用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器(qi)

8.成套專(zhuan)業化的數字與全中文反控氣相色譜儀

中心切割與反吹系統

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣(qi)相色譜儀采用多閥(fa)(fa)多柱的(de)中心切(qie)(qie)割與反吹系(xi)統(tong)，該系(xi)統(tong)由(you)多個吹掃型十通閥(fa)(fa)及多根(gen)色譜柱聯合組(zu)成，通過(guo)工作站(zhan)設置(zhi)的(de)時(shi)間程序自(zi)動控制(zhi)其進樣、切(qie)(qie)換、切(qie)(qie)割與反吹等過(guo)程，完(wan)成包括(kuo)高(gao)純氮、高(gao)純氫、高(gao)純氧、

高(gao)純(chun)氦(hai)、高(gao)純(chun)二氧化碳、高(gao)純(chun)氬、氪氣(qi)(qi)、氙氣(qi)(qi)、氖(nai)氣(qi)(qi)等(deng)高(gao)純(chun)氣(qi)(qi)體(ti)以及硅(gui)烷等(deng)電子工業用氣(qi)(qi)體(ti)中痕(hen)量雜質(zhi)的檢測：
VALCO吹(chui)掃(sao)型十通閥
GC-9860-PDHID氦(hai)離子化氣相色譜儀所配備的均為yuan裝進口VALCO生產的
經特殊加工的色(se)譜(pu)柱技術

杜絕(jue)氧(yang)吸附

氣體全分析流程：四(si)閥五柱

HP-2氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等

殘留濃(nong)度：≤10ppb

外置式單氣路恒溫柱箱

◆單氣路(lu),箱(xiang)爐可獨立控(kong)溫與恒溫;

◆加熱塊與柱爐(lu)體采(cai)用可分離與嵌(qian)入式技術;安裝與拆卸實用方便;

◆爐體與(yu)外箱盒設計分體, 安裝色譜柱(zhu), 分離與嵌入(ru)加(jia)熱塊(kuai),填裝保溫棉材等都人性化設(she)計(ji).

VALCO脈沖氦離子檢測器

◆PDHID是利用氦中穩(wen)定的，低功率脈沖放電(dian)作電(dian)離源(yuan)，使被測組分電(dian)離產生信號。

PDHID是非(fei)放射(she)性檢測器，對所有(you)物質(zhi)均有(you)高靈敏度的(de)正響應。

◆非放(fang)射性檢測器(qi)，使用安全

◆檢(jian)測靈敏度最高，氣體中(zhong)雜質的最小檢(jian)測濃度達5ppb

色譜分析流程圖

1.9分析過程(cheng)

1. 如(ru)高純N2通(tong)過程序(xu)設定，樣品通(tong)過閥1定量管定量進入預(yu)柱1/8"*2mHayesepQ 1，預(yu)柱很好的把(ba)O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分預(yu)分離，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預(yu)柱，自(zi)動切換(huan)閥1。CO2直接通(tong)過閥1放(fang)空.

2. 閥(fa)(fa)3一開始是1-4相同(tong)，當O2從(cong)分(fen)(fen)子(zi)(zi)篩(shai)柱流出(chu)后(hou)(hou)進(jin)入(ru)閥(fa)(fa)3后(hou)(hou)，進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)的分(fen)(fen)析(xi)篩(shai)，閥(fa)(fa)3切(qie)換(huan)，H2、02直(zhi)接進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)的分(fen)(fen)子(zi)(zi)篩(shai)繼續(xu)分(fen)(fen)離，通過閥(fa)(fa)4進(jin)入(ru)檢(jian)測器(qi)檢(jian)測。此時(shi)閥(fa)(fa)3處于放空(kong)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)，放掉(diao)大部(bu)分(fen)(fen)的氮氣(qi)，當CH4即將流出(chu)前(qian)面(mian)分(fen)(fen)子(zi)(zi)篩(shai)，閥(fa)(fa)3再次切(qie)換(huan)， CH4與氮氣(qi)的混(hun)合(he)氣(qi)體進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)的分(fen)(fen)子(zi)(zi)篩(shai)繼續(xu)分(fen)(fen)離，通過閥(fa)(fa)4進(jin)入(ru)檢(jian)測器(qi)進(jin)行檢(jian)測。當CH4*流出(chu)前(qian)面(mian)分(fen)(fen)子(zi)(zi)篩(shai)后(hou)(hou)，閥(fa)(fa)3再次切(qie)割為放空(kong)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)，繼續(xu)放掉(diao)氮氣(qi)。

3.  當(dang)CO即(ji)將流(liu)出分(fen)子篩(shai)，閥3再次切(qie)換，CO通過閥3進(jin)入后(hou)面(mian)的分(fen)子篩(shai)繼續分(fen)離，進(jin)入檢測器檢測。當(dang)CO從前(qian)面(mian)分(fen)子篩(shai)流(liu)出后(hou)，閥3再次切(qie)換，處于(yu)放(fang)空(kong)狀態。

4.  閥(fa)2是用來分析CO2的，當樣(yang)品從定量環中帶入預柱中，一(yi)開始閥(fa)2是處于放空(kong)狀態(tai)，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出排空(kong)后(hou)，閥(fa)2切(qie)換，把(ba)CO2反(fan)吹(chui)進(jin)檢測器(qi)進(jin)行分析。

分析譜圖

標準樣品(pin)譜圖

高純氫氣樣品譜圖

高純氮氣

高純Ar