

Hope儀(yi)器GC-9860-5CPDHID-氦離子(zi)氣相色譜儀(yi)適用于高(gao)純(chun)(chun)氣體、超高(gao)純(chun)(chun)氣體及電子(zi)工業用氣體中痕量(liang)雜質的檢測。
Hope儀器GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀
GC-9860-5CPDHID氦(hai)離子化氣相(xiang)色譜儀適用于高純(chun)氣體(ti)、超(chao)高純(chun)氣體(ti)及電子工業用氣體(ti)中痕量(liang)雜(za)質的檢測。該(gai)產(chan)品以GC-9860氣相(xiang)色譜儀為載體,配(pei)備VALCO公司(si)生產的氦離子化(PDHID)檢測器;采用公司擁有專業技(ji)術(shu)的四閥(fa)五(wu)柱的中(zhong)心切割(ge)與反吹技(ji)術(shu),其中(zhong)的所有進樣和切換閥(fa)均(jun)為VALCO公司生(sheng)產的帶(dai)吹掃(sao)保護氣路的六通或十通閥;上述部分(fen)與VALCO公司原裝(zhuang)的(de)氦(hai)氣(qi)純(chun)化(hua)器、無死體積取樣閥(fa)等(deng)部件一(yi)(yi)起(qi)組(zu)成一(yi)(yi)套完整的(de)高純(chun)氣(qi)體分析解決(jue)方案。
高純(chun)氣體的(de)(de)分(fen)(fen)析是一個復雜的(de)(de)過(guo)程(cheng)(cheng),不僅需要高靈(ling)敏的(de)(de)檢測器,還要考慮樣品本(ben)身的(de)(de)特性(xing)及其背景,如吸附、取(qu)樣及分(fen)(fen)析過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)是否(fou)有空氣混入、系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)密閉性(xing)、系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)死體積等環節,公司(si)總結了(le)高純(chun)氣體分(fen)(fen)析過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)的(de)(de)技術(shu)難(nan)點(dian),并給出(chu)了(le)所有難(nan)點(dian)的(de)(de)解決(jue)措施,使GC-9860-PDHID氦離(li)子化氣相(xiang)色譜儀成為guo內(nei)zui專業的高純氣體分析系統,很好的完成了氣體中微量雜質,特別是ppb級的(de)(de)雜質(zhi)的(de)(de)分析。
Hope儀器GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀
產品的特點與技術要求:
1.氣體行業(ye)專業(ye)色譜技(ji)術成套(tao)解決(jue)方案(an)
2.采(cai)用(yong)VICI公司(si)Valco帶吹掃型十通與(yu)六(liu)通切換(huan)閥控制氣路(lu)
3.應用氣體分(fen)離專用色(se)譜柱分(fen)離預切再分(fen)離技術
4.采用本公司zhuan利技術的可分離與嵌入式單體控(kong)溫柱爐
5.工藝流程采用(yong)多(duo)路精密零死體(ti)專用(yong)閥控制多(duo)維色(se)譜分(fen)離(li)柱(zhu)流量
6.分析流程全部采用(yong)Valco公(gong)司316不(bu)銹鋼管路與專用(yong)鍍金接頭
7.核(he)心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離(li)子檢測器(qi)
8.成(cheng)套專業化的數(shu)字與全中文反控(kong)氣(qi)相色譜(pu)儀
中心切割與反吹系統
GC-9860-5CPDHID氦離子(zi)化氣相(xiang)色譜儀采用多閥(fa)多柱的(de)中(zhong)心(xin)切(qie)割(ge)與反(fan)吹(chui)(chui)系統(tong),該系統(tong)由多個吹(chui)(chui)掃型十通閥(fa)及多根色譜柱聯合組成,通過(guo)工(gong)作站設置的(de)時間程(cheng)序自動控制(zhi)其進(jin)樣、切(qie)換、切(qie)割(ge)與反(fan)吹(chui)(chui)等(deng)過(guo)程(cheng),完成包括高(gao)純氮、高(gao)純氫、高(gao)純氧、
高(gao)純氦(hai)、高(gao)純二氧化碳、高(gao)純氬(ya)、氪氣、氙氣、氖氣等高(gao)純氣體(ti)以及硅(gui)烷等電子工業用(yong)氣體(ti)中痕量雜(za)質的檢測:
VALCO吹掃(sao)型十通(tong)閥
GC-9860-PDHID氦離子化氣相色(se)譜儀所配備的均為(wei)yuan裝(zhuang)進口VALCO生(sheng)產的(de)
經(jing)特殊(shu)加(jia)工的色(se)譜柱技術
杜絕(jue)氧(yang)吸(xi)附(fu)
氣體全(quan)分析流(liu)程:四閥五柱
HP-2氦氣純化器:
可(ke)純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等
殘留濃(nong)度:≤10ppb
外置式單氣路恒溫(wen)柱(zhu)箱
◆單氣路(lu),箱爐可獨立控溫與恒溫;
◆加熱塊與柱爐體(ti)采用可分離與嵌(qian)入式技術(shu);安裝與拆卸(xie)實用方便;
◆爐體與(yu)外箱盒設計分體, 安(an)裝(zhuang)色(se)譜柱, 分(fen)離與嵌入加(jia)熱塊,填裝保溫棉材等(deng)都人(ren)性化設計.
VALCO脈沖氦離子(zi)檢測器
◆PDHID是利用氦中穩定的,低(di)功率(lv)脈沖放電作電離(li)源,使被測組分電離(li)產(chan)生信號。
PDHID是非放(fang)射(she)性檢測器(qi),對所有物質均有高靈敏度的正響應。
◆非放射性(xing)檢測器,使用安全
◆檢測靈敏(min)度最高,氣體中(zhong)雜(za)質的最小檢測濃度達5ppb
Valco PDHID氦離子(zi)化(hua)檢測(ce)器(qi)對(dui)6種雜(za)質的檢測限(ppb) | ||||||
雜質(zhi)種(zhong)類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 |
檢測限(xian) | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 |
1. 如高(gao)純N2通過程序設定,樣(yang)品(pin)通過閥(fa)1定量(liang)(liang)管(guan)定量(liang)(liang)進(jin)入預(yu)柱(zhu)1/8"*2mHayesepQ 1,預(yu)柱(zhu)很(hen)好的(de)把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組(zu)分預(yu)分離,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預(yu)柱(zhu),自動切換閥(fa)1。CO2直接通過閥(fa)1放空(kong).
2. 閥(fa)3一開始是(shi)1-4相同,當O2從(cong)分(fen)(fen)子篩(shai)(shai)(shai)柱(zhu)流出后(hou)進(jin)入(ru)閥(fa)3后(hou),進(jin)入(ru)后(hou)面(mian)的(de)(de)分(fen)(fen)析(xi)篩(shai)(shai)(shai),閥(fa)3切(qie)換,H2、02直接進(jin)入(ru)后(hou)面(mian)的(de)(de)分(fen)(fen)子篩(shai)(shai)(shai)繼(ji)(ji)續分(fen)(fen)離,通過(guo)閥(fa)4進(jin)入(ru)檢測器檢測。此時閥(fa)3處(chu)于放空狀(zhuang)態(tai),放掉大部分(fen)(fen)的(de)(de)氮氣,當CH4即將流出前面(mian)分(fen)(fen)子篩(shai)(shai)(shai),閥(fa)3再(zai)次(ci)切(qie)換, CH4與氮氣的(de)(de)混合氣體(ti)進(jin)入(ru)后(hou)面(mian)的(de)(de)分(fen)(fen)子篩(shai)(shai)(shai)繼(ji)(ji)續分(fen)(fen)離,通過(guo)閥(fa)4進(jin)入(ru)檢測器進(jin)行檢測。當CH4*流出前面(mian)分(fen)(fen)子篩(shai)(shai)(shai)后(hou),閥(fa)3再(zai)次(ci)切(qie)割為(wei)放空狀(zhuang)態(tai),繼(ji)(ji)續放掉氮氣。
3. 當(dang)CO即將(jiang)流出(chu)分(fen)子(zi)篩(shai)(shai),閥(fa)3再次(ci)(ci)切換(huan),CO通(tong)過閥(fa)3進入后(hou)面的(de)分(fen)子(zi)篩(shai)(shai)繼(ji)續分(fen)離,進入檢測(ce)器檢測(ce)。當(dang)CO從前面分(fen)子(zi)篩(shai)(shai)流出(chu)后(hou),閥(fa)3再次(ci)(ci)切換(huan),處于(yu)放(fang)空狀(zhuang)態。
4. 閥(fa)2是用(yong)來分(fen)析CO2的(de),當(dang)樣品從定量(liang)環中(zhong)帶入預(yu)柱中(zhong),一開始閥(fa)2是處于放空狀態,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流(liu)出排空后,閥(fa)2切換,把CO2反吹(chui)進檢測(ce)器進行分析。
標準樣品譜圖(tu)
高(gao)純氫氣樣品(pin)譜(pu)圖
高純氮氣
高純Ar