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真空控制系統

真空控制系統

簡要描述:

真空控制系統
用途(tu):用于實(shi)驗腔體的真空度自(zi)動控制,實(shi)現測試(shi)過程中真空的程序(xu)定(ding)向控制。

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 真空控制系統

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用途:用于實驗腔體的真(zhen)空度自動控制,實現測試過程中真(zhen)空的程序定向控制。

控制范圍:真空泵極限真空-100000pa

控制精度:<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率:5*10-9Pa.m3/S.He以下

控制速度:5min以內完成

程序步數:30步,隨意設置。

真空計:英福康真空計 0-50torr  0-1000

 真空控制系統

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