GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀

GC-9860-5CPDHID氦離子(zi)化氣相色(se)譜儀(yi)適用于高純氣體、超高純氣體及電子(zi)工(gong)業用氣體中痕量雜質的檢(jian)測。該產品以GC-9860氣(qi)相色譜儀為載(zai)體，配(pei)備VALCO公(gong)司生產(chan)的氦離(li)子化（PDHID）檢測器；采用公司擁有專業技術(shu)的(de)(de)四閥(fa)五柱的(de)(de)中心(xin)切(qie)割與反吹技術(shu)，其中的(de)(de)所(suo)有進樣和切(qie)換閥(fa)均(jun)為VALCO公司生產的(de)帶吹掃保護氣路的(de)六通(tong)(tong)或十通(tong)(tong)閥(fa)；上述部(bu)分(fen)與(yu)VALCO公(gong)司(si)原裝的(de)氦氣(qi)純(chun)化器、無死體(ti)積取樣(yang)閥等部件(jian)一起組成一套完(wan)整的(de)高(gao)純(chun)氣(qi)體(ti)分析解(jie)決方案。
高純氣體(ti)的(de)(de)分(fen)析是(shi)一個復雜的(de)(de)過程(cheng)，不(bu)僅需要高靈敏的(de)(de)檢測器，還要考慮樣(yang)品本身(shen)的(de)(de)特性及(ji)其(qi)背景，如(ru)吸(xi)附、取樣(yang)及(ji)分(fen)析過程(cheng)中是(shi)否有空氣混入、系統(tong)的(de)(de)密閉性、系統(tong)的(de)(de)死(si)體(ti)積(ji)等環(huan)節，公(gong)司總結了高純氣體(ti)分(fen)析過程(cheng)中的(de)(de)技(ji)術(shu)難(nan)點，并(bing)給出了所有難(nan)點的(de)(de)解決措(cuo)施，使GC-9860-PDHID氦(hai)離(li)子化氣相色譜儀成(cheng)為(wei)guo內zui專業的高純氣體分析系統，很好的完成了氣體中微量雜質，特別是ppb級(ji)的(de)雜質的(de)分析。

 GC-9860-5CPDHID-氦離子氣相色譜儀

產品的特點與技術要求:

1.氣(qi)體行(xing)業專業色(se)譜技術成套(tao)解決方案(an)

2.采用VICI公司Valco帶吹(chui)掃(sao)型十通(tong)與六通(tong)切換閥控(kong)制氣路(lu)

3.應用氣體(ti)分離(li)(li)專用色譜柱分離(li)(li)預切再分離(li)(li)技術(shu)

4.采用本公司zhuan利技術的可分離與嵌(qian)入(ru)式單體控溫柱爐

5.工藝流程(cheng)采(cai)用多路精密零死體(ti)專用閥控制(zhi)多維色譜分離柱流量

6.分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼(gang)管(guan)路與專用鍍金接頭

7.核心靈敏部件采用Valco公(gong)司PDHID脈(mo)沖氦離子(zi)檢(jian)測(ce)器

8.成套(tao)專業化的(de)數(shu)字與全中文反控(kong)氣(qi)相色譜儀

中心切割與反吹系統

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀采用多閥(fa)多柱(zhu)的(de)中心切割與反吹系統，該系統由(you)多個(ge)吹掃型十通閥(fa)及多根色譜柱(zhu)聯合組成(cheng)，通過工作站設置的(de)時間程序自(zi)動控制其進(jin)樣、切換、切割與反吹等過程，完成(cheng)包括高純氮、高純氫、高純氧、

高純氦、高純二(er)氧化(hua)碳、高純氬、氪氣、氙(xian)氣、氖氣等(deng)高純氣體(ti)(ti)以(yi)及硅烷(wan)等(deng)電子工業用氣體(ti)(ti)中痕量(liang)雜質(zhi)的檢測：
VALCO吹掃型十(shi)通閥
GC-9860-PDHID氦離子化氣相(xiang)色譜儀所配備(bei)的(de)均為yuan裝進口(kou)VALCO生產的
經特殊加工(gong)的(de)色譜(pu)柱技術

杜絕氧吸附

氣(qi)體全(quan)分析流程：四閥(fa)五(wu)柱

HP-2氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等

殘留濃度：≤10ppb

外置式單氣路恒(heng)溫柱箱

◆單氣路(lu),箱(xiang)爐(lu)可(ke)獨立控(kong)溫與恒溫;

◆加(jia)熱塊與(yu)柱爐體采用可(ke)分離與(yu)嵌(qian)入式技術;安(an)裝與拆卸實用方便;

◆爐體(ti)與外箱盒設計分體(ti), 安裝色(se)譜柱, 分離與嵌入(ru)加熱(re)塊,填裝保溫棉材等都(dou)人性化設計.

VALCO脈沖氦離子檢測器

◆PDHID是利(li)用(yong)氦中(zhong)穩定的，低功率脈沖放電(dian)(dian)作電(dian)(dian)離(li)源，使被(bei)測組(zu)分電(dian)(dian)離(li)產生信號。

PDHID是非放射性檢測器，對所(suo)有(you)物質均(jun)有(you)高靈(ling)敏度的(de)正響應(ying)。

◆非(fei)放射性檢測器，使(shi)用安全

◆檢(jian)(jian)測(ce)靈敏度(du)最(zui)高，氣體中雜(za)質的最(zui)小檢(jian)(jian)測(ce)濃(nong)度(du)達5ppb

色譜分(fen)析(xi)流程圖(tu)

1.9分析過程

1. 如高純N2通過(guo)程(cheng)序設(she)定(ding)，樣(yang)品(pin)通過(guo)閥1定(ding)量管(guan)定(ding)量進(jin)入預(yu)柱1/8"*2mHayesepQ 1，預(yu)柱很好的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分(fen)預(yu)分(fen)離，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預(yu)柱，自動切換閥1。CO2直接通過(guo)閥1放空.

2. 閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3一開始(shi)是1-4相同，當(dang)O2從分(fen)子(zi)(zi)篩(shai)(shai)柱流出后(hou)進(jin)入(ru)(ru)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3后(hou)，進(jin)入(ru)(ru)后(hou)面(mian)的(de)分(fen)析(xi)篩(shai)(shai)，閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3切(qie)換(huan)(huan)，H2、02直接(jie)進(jin)入(ru)(ru)后(hou)面(mian)的(de)分(fen)子(zi)(zi)篩(shai)(shai)繼(ji)(ji)續分(fen)離(li)，通(tong)過閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)4進(jin)入(ru)(ru)檢測(ce)(ce)器檢測(ce)(ce)。此時(shi)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3處于(yu)放空狀(zhuang)態，放掉大(da)部(bu)分(fen)的(de)氮氣(qi)(qi)，當(dang)CH4即將(jiang)流出前面(mian)分(fen)子(zi)(zi)篩(shai)(shai)，閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3再(zai)次(ci)切(qie)換(huan)(huan)， CH4與(yu)氮氣(qi)(qi)的(de)混合氣(qi)(qi)體進(jin)入(ru)(ru)后(hou)面(mian)的(de)分(fen)子(zi)(zi)篩(shai)(shai)繼(ji)(ji)續分(fen)離(li)，通(tong)過閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)4進(jin)入(ru)(ru)檢測(ce)(ce)器進(jin)行(xing)檢測(ce)(ce)。當(dang)CH4*流出前面(mian)分(fen)子(zi)(zi)篩(shai)(shai)后(hou)，閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)3再(zai)次(ci)切(qie)割為放空狀(zhuang)態，繼(ji)(ji)續放掉氮氣(qi)(qi)。

3.  當CO即將流出(chu)分子篩(shai)，閥(fa)3再次(ci)切(qie)換，CO通過閥(fa)3進入(ru)后面的分子篩(shai)繼續分離(li)，進入(ru)檢測器檢測。當CO從前面分子篩(shai)流出(chu)后，閥(fa)3再次(ci)切(qie)換，處于放空(kong)狀態。

4.  閥2是用來分析CO2的，當樣品從定量環中帶入預柱中，一開(kai)始閥2是處于放(fang)空狀態，待(dai)H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流(liu)出排空后，閥2切換，把CO2反吹(chui)進檢測器進行(xing)分析(xi)。

分(fen)析(xi)譜圖(tu)

標準樣(yang)品譜圖(tu)

高純氫(qing)氣樣品譜圖

高(gao)純(chun)氮氣

高純Ar