S49 33/MT  質量流量計系(xi)列特點(dian)：

*采(cai)用(yong)主體(ti)不銹(xiu)鋼（316L）結構，與氣體(ti)接觸(chu)部(bu)分采(cai)用(yong)鐵素體(ti)高耐(nai)腐蝕軟磁不銹(xiu)鋼、VITON、聚(ju)四氟乙烯(xi)等

*適用于各種(zhong)腐蝕(shi)性(xing)氣體

*氣體(ti)流量不因(yin)溫度、壓力的變化而失準(zhun)

*高精度

*重復性好

*響應速度(du)快、軟啟動、穩定可靠(kao)

*低(di)壓降

*工作壓(ya)力范圍寬（可以在(zai)高壓(ya)或真(zhen)空條件下(xia)工作）

*操作使用方便(bian)，可任(ren)意位(wei)置安(an)裝

*便于與計(ji)算機(ji)連(lian)接(jie)實現自動(dong)控制

S49 33/MT  質量(liang)流量(liang)計主要應用領(ling)域：

*半(ban)導體(ti)制造(zao)行(xing)業的氣體(ti)流量控(kong)制

*分(fen)析儀器設備(bei)的氣體(ti)計量(liang)與控制

*各種形式的(de)真(zhen)空鍍(du)膜設備

*環境檢(jian)測與分析設(she)備

*化工、石化、食品行(xing)業氣(qi)體(ti)流量監(jian)測和控(kong)制

*特種材(cai)料表面處理(li)裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統和泄漏探測系統等

本產品采用(yong)中華(hua)人民(min)共和國電子行業(ye)標準(zhun)SJ/T10583-94以及(ji)SJ37所規定的(de)通(tong)用(yong)技術條件及(ji)命名方(fang)法。質(zhi)量流(liu)量計(ji)(ji)主要(yao)精確(que)測(ce)量氣體(ti)(ti)流(liu)量，質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)器不但具(ju)有質(zhi)量流(liu)量計(ji)(ji)的(de)功能(neng)還(huan)具(ju)備(bei)自動(dong)控制(zhi)氣體(ti)(ti)流(liu)量的(de)功能(neng)。

主要(yao)技術指標

質量流量控制器(流量計)出廠通常(chang)用氮氣(qi)（N2）標定。

質量流(liu)量的單位規定為(wei): 標準(zhun)(zhun)狀態(tai)mL/min  (毫升/分鐘) (SCCM行(xing)業(ye)標準(zhun)(zhun))

標準(zhun)狀態L/min （升/分鐘(zhong)） (SLM行業標準(zhun))

標(biao)準狀態規(gui)定為:溫度 --- 0℃

氣(qi)壓—101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿(man)量(liang)程(cheng)值

表1 技術指標