S49 31/MT 質量流量計相關描述：加工定制品牌：HORIBAMETRON型號：S49 31/MT測量范圍（m3/h）：0.3類型：質量流量計公稱通徑（mm）：10工作壓力（MPa）：3精度等級：±1%
質量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器（Mass Flow Controller縮(suo)寫為(wei)MFC）用于(yu)對(dui)氣體(ti)的質量(liang)流(liu)量(liang)進行精(jing)密測(ce)量(liang)和控制(zhi)。質量(liang)流(liu)量(liang)計（Mass Flow Meter縮(suo)寫為(wei)MFM）,用于(yu)對(dui)氣體(ti)的質量(liang)流(liu)量(liang)進行精(jing)密測(ce)量(liang)。
S49 31/MT 質量流量計和質(zhi)量流量控制器特點(dian)：
☆主體采用(yong)不(bu)銹鋼（316L）結構，氣密材料(liao)采用(yong)VITON?、聚四氟乙烯等。適用(yong)于(yu)各(ge)種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓(ya)(ya)高及適用(yong)于真(zhen)空條件下工(gong)作。低壓(ya)(ya)降。工(gong)作壓(ya)(ya)力(li)(li)范圍寬，氣體流量不因溫(wen)度、壓(ya)(ya)力(li)(li)的變化(hua)(hua)而變化(hua)(hua)。
☆具有精度高、重復性(xing)好、響應速度快、軟啟(qi)動、工作穩定可靠(kao)。
☆可任意位置安(an)裝(zhuang)。電(dian)氣操作(zuo)控(kong)制顯示，使用方便。易于與電(dian)氣系統或自動控(kong)制系統配合。
☆配合MT-60 系列流(liu)量積(ji)算儀(yi)，可對(dui)氣體的瞬時流(liu)量和累(lei)積(ji)流(liu)量進行精(jing)確計(ji)量。
S49 31/MT 質量(liang)流量(liang)計(ji) 和質量(liang)流量(liang)控制器主要應(ying)用領域：
半(ban)導體制(zhi)造行業的氣體流量控(kong)制(zhi)；
分(fen)析(xi)儀器(qi)設備的(de)氣體(ti)計量與(yu)控制；
各種形式的真空鍍膜設備(bei)；
環(huan)境檢測(ce)與分(fen)析設備；
化工、石化、食品、冶(ye)金、光纖(xian)熔煉(lian)等行業氣體流量檢測和控制；
特種材料(liao)表面(mian)處理裝置與燃(ran)燒控制(zhi)；
混氣配氣系(xi)統和泄(xie)露(lu)探測系(xi)統等(deng)。
2、S49系列質量流(liu)量控制器和質量流(liu)量計型號
S49 31 系列質量流量控(kong)制器，S49為質(zhi)量(liang)流量(liang)控制(zhi)器和質(zhi)量(liang)流量(liang)計產(chan)品，31/MT為本(ben)公(gong)司此(ci)產品(pin)設(she)計序列號(hao)。
其中(zhong)：S49 31/MT 系列為質量流量控制器。
S49 31A/MT 系列為質量(liang)流量(liang)計。
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計用于(yu)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)精確(que)測量(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)；質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)控制器不(bu)但具有質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計的測量(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)功能，還具有自(zi)動(dong)控制氣(qi)體(ti)流量(liang)(liang)(liang)的功能。
3、 主要技術指(zhi)標
質量流量計和質量流量控(kong)制器(qi)流量出廠通常用氮氣(qi)(N2)標定。
質量流量單位(wei)為：標準狀態mL/min （毫升(sheng)/分鐘） （SCCM行(xing)業(ye)標(biao)準(zhun)）；
標準狀態L/min （升/分鐘）（SLM行業標準）。
標準狀態(tai)為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表示滿量(liang)程值
表1 S49 31/MT流量控(kong)制器(qi)、S49 31A/MT流量計技術(shu)指(zhi)標(biao)
編號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流(liu)量規格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調節閥(fa)類(lei)型 | 電磁調節閥 |
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3 | 調節閥靜止狀(zhuang)態 | 常閉 |
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4 | 準確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% F.S) | |
5 | 線性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重(zhong)復精(jing)度(du) | ±0.2%F.S | |
7 | 響(xiang)應(ying)時間 | (3～4)s | |
8 | 工作壓(ya)差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工(gong)作環境溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不銹鋼316L | |
12 | 標準密封(feng)材料 | Viton?， EPDM， 或其他由用戶 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或(huo)其(qi)他 | |
15 | 輸入輸出信號 | 0V～＋5.00V (輸(shu)入阻抗(kang)≥100KΩ,負載(zai)輸(shu)出電流能力≤3mA) | |
16 | 供(gong)電電源(yuan) | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31A/MT系列(lie)質量流量計外形(xing)及安裝尺寸
S49 31/MT 系列質量(liang)流(liu)量(liang)計的(de)接線插頭(tou)
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