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氦離子氣相色譜儀

氦離子氣相色譜儀

簡要描述:

GC-9860-5CPDHID氦離(li)子(zi)化氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)色(se)譜(pu)(pu)儀適(shi)用(yong)(yong)于高純氣(qi)(qi)(qi)(qi)體、超高純氣(qi)(qi)(qi)(qi)體及電子(zi)工(gong)業用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體中(zhong)痕(hen)量(liang)雜質的檢(jian)測。該產品以GC-9860氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)色(se)譜(pu)(pu)儀為載體,配備VALCO公(gong)司生產的氦離(li)子(zi)化(PDHID)檢(jian)測器;采用(yong)(yong)公(gong)司擁有(you)專業技(ji)術的四(si)閥(fa)五(wu)柱的中(zhong)心切割與(yu)反吹技(ji)術,其(qi)中(zhong)的所有(you)進樣和切換閥(fa)均為VALCO公(gong)司生產的帶(dai)吹掃保護氣(qi)(qi)(qi)(qi)路的六通(tong)或十通(tong)閥(fa)。

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GC-9860-5CPDHID氦離子(zi)氣相色(se)譜儀產(chan)品特點與技術要求:

1.氣體(ti)(ti)行業專業色譜技術(shu)成套解決方案

2.采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切(qie)換閥控制氣路

3.應用(yong)氣(qi)體(ti)分(fen)離(li)色(se)譜(pu)柱分(fen)離(li)預切再分(fen)離(li)技(ji)術

4.采用本公司(si)技術的可分離與嵌入式單體控溫柱爐

5.工藝流程采用多路精密(mi)零(ling)死體(ti)(ti)閥控(kong)制(zhi)多維(wei)色譜(pu)分離柱流量

6.分析流程全部(bu)采用Valco公司316不(bu)銹鋼管路與鍍金(jin)接頭

7.核心靈敏部件采用(yong)Valco公司PDHID脈沖氦離(li)子(zi)檢測(ce)器

8.成套(tao)專業化的數(shu)字與全中(zhong)文反控(kong)氣相(xiang)色譜儀(yi)

中心切割(ge)與反吹系統

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀 采用多閥多柱的中心切割與反吹系統,該系統由多個吹掃型十通閥及多根色譜柱聯合組成,通過工作站設置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、

高(gao)純(chun)氦、高(gao)純(chun)二(er)氧(yang)化碳、高(gao)純(chun)氬、氪氣(qi)、氙(xian)氣(qi)、氖氣(qi)等高(gao)純(chun)氣(qi)體以及硅烷(wan)等電(dian)子工(gong)業(ye)用氣(qi)體中痕量(liang)雜質的檢測: 
VALCO吹掃型十通閥 
GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀 所配備的均為*VALCO生產的
經特(te)殊加工的(de)色譜柱技術(shu)

杜(du)絕氧吸附

氣體全分析流程:四閥五柱

HP-2氦氣純化器

可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等

殘留濃度:≤10ppb

外置式單氣路恒(heng)溫柱箱

◆單氣路,箱爐可獨立(li)控(kong)溫與恒溫;

◆加熱塊與(yu)柱(zhu)爐(lu)體(ti)采用可分離與(yu)嵌(qian)入式技術;安裝與(yu)拆卸實用方便;

◆爐體與外(wai)箱盒設(she)計分體, 安裝色譜(pu)柱(zhu), 分離與嵌入加熱塊(kuai),填(tian)裝保(bao)溫棉材等都人(ren)性化設(she)計.

VALCO脈沖氦離(li)子檢測器

 

◆PDHID是利用氦中穩定(ding)的,低功率脈沖放電作電離(li)源,使被測組分電離(li)產生信號。

PDHID是非放射性檢測器,對所有物質(zhi)均有高靈(ling)敏(min)度的正響應。

◆非放射性檢測器,使(shi)用安全

◆檢測靈敏度(du)高,氣體中雜質(zhi)的小檢測濃度(du)達5ppb

 

Valco  PDHID氦(hai)離子化檢測器對6種雜質的檢測限(ppb)

雜質種類

H2

O2

N2

CO

CH4

CO2

檢測限

5

10

10

25

5

5

 

色譜(pu)分析流程圖

1.9分析過程

1. 如高純N2通(tong)過程序設(she)定,樣(yang)品通(tong)過閥1定量(liang)管定量(liang)進入預(yu)柱1/8”*2mHayesepQ 1,預(yu)柱很好(hao)的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分(fen)(fen)預(yu)分(fen)(fen)離,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預(yu)柱,自動(dong)切換閥1。CO2直接通(tong)過閥1放空.

2. 閥3一開始是(shi)1-4相同,當O2從分(fen)子篩柱流(liu)出后(hou)(hou)進(jin)入(ru)閥3后(hou)(hou),進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的(de)分(fen)析篩,閥3切換,H2、02直接進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的(de)分(fen)子篩繼(ji)(ji)續分(fen)離(li),通過閥4進(jin)入(ru)檢測器檢測。此時閥3處于放(fang)空狀(zhuang)態,放(fang)掉大部分(fen)的(de)氮(dan)氣(qi),當CH4即將流(liu)出前面(mian)(mian)分(fen)子篩,閥3再次切換, CH4與氮(dan)氣(qi)的(de)混合(he)氣(qi)體進(jin)入(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的(de)分(fen)子篩繼(ji)(ji)續分(fen)離(li),通過閥4進(jin)入(ru)檢測器進(jin)行檢測。當CH4*流(liu)出前面(mian)(mian)分(fen)子篩后(hou)(hou),閥3再次切割為放(fang)空狀(zhuang)態,繼(ji)(ji)續放(fang)掉氮(dan)氣(qi)。

3.  當(dang)CO即將流出(chu)分(fen)子篩,閥(fa)3再次切(qie)換(huan)(huan),CO通過閥(fa)3進(jin)入后(hou)面(mian)的分(fen)子篩繼續(xu)分(fen)離,進(jin)入檢測器檢測。當(dang)CO從(cong)前面(mian)分(fen)子篩流出(chu)后(hou),閥(fa)3再次切(qie)換(huan)(huan),處于放空狀態。

4.  閥2是(shi)(shi)用來分析CO2的,當樣品從定量環中帶入預柱中,一(yi)開始閥2是(shi)(shi)處于放空(kong)狀態,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流(liu)出(chu)排空(kong)后,閥2切換,把CO2反吹(chui)進檢(jian)測器進行(xing)分析。

分析譜圖

標準樣(yang)品譜圖(tu)

高純氫氣樣品譜圖

高純氮氣

 高純Ar

 

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