

GC-9860-5CPDHID氦(hai)離子氣(qi)(qi)相色譜儀適用于高(gao)純氣(qi)(qi)體、超(chao)高(gao)純氣(qi)(qi)體及電子工業用氣(qi)(qi)體中痕量雜質的(de)(de)(de)檢測。該產品以GC-9860氣(qi)(qi)相色譜儀為載體,配備VALCO公(gong)司(si)生(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)氦(hai)離子化(hua)(PDHID)檢測器(qi);采(cai)用公(gong)司(si)擁有(you)專業技(ji)術的(de)(de)(de)四閥五(wu)柱的(de)(de)(de)中心切(qie)(qie)割(ge)與反吹(chui)(chui)技(ji)術,其中的(de)(de)(de)所有(you)進樣(yang)(yang)和切(qie)(qie)換閥均為VALCO公(gong)司(si)生(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)帶(dai)吹(chui)(chui)掃保護氣(qi)(qi)路的(de)(de)(de)六通(tong)(tong)或(huo)十通(tong)(tong)閥;上述(shu)部分與VALCO公(gong)司(si)原(yuan)裝(zhuang)的(de)(de)(de)氦(hai)氣(qi)(qi)純化(hua)器(qi)、無死(si)體積取樣(yang)(yang)閥等部件一起組成。
GC-9860-5CPDHID氦離子氣相色譜儀產品的特點與技術要求:
1.氣體行業(ye)(ye)專業(ye)(ye)色譜(pu)技術(shu)成套(tao)解決方案;
2.采(cai)用VICI公司Valco帶吹掃(sao)型十(shi)通(tong)與六通(tong)切換閥(fa)控制氣路(lu);
3.應用氣體分(fen)離色譜柱(zhu)分(fen)離預切(qie)再分(fen)離技術;
4.采用本公司專門(men)技術(shu)的(de)可分離與嵌入式單體(ti)控溫(wen)柱(zhu)爐;
5.工藝流(liu)程采用多路精密零死體閥(fa)控(kong)制多維色譜分離(li)柱流(liu)量;
6.分(fen)析(xi)流程全部采(cai)用Valco公司316不銹鋼管路與(yu)鍍金接頭(tou);
7.核心靈敏(min)部件采用Valco公司PDHID脈沖氦(hai)離子檢(jian)測器;
8.成套專(zhuan)業(ye)化的(de)數字與全中(zhong)文反控氣相色譜儀。
中心切割與反吹系統
GC-9860-5CPDHID氦離子化氣(qi)相色譜(pu)儀(yi)采(cai)用多(duo)閥多(duo)柱的中(zhong)(zhong)心切(qie)割與(yu)反(fan)吹(chui)系(xi)統,該系(xi)統由多(duo)個吹(chui)掃型十通閥及(ji)多(duo)根色譜(pu)柱聯合組(zu)成(cheng),通過(guo)工作站設置的時間程(cheng)序自動控制其進樣、切(qie)換(huan)、切(qie)割與(yu)反(fan)吹(chui)等過(guo)程(cheng),完成(cheng)包(bao)括高(gao)純(chun)氮(dan)、高(gao)純(chun)氫、高(gao)純(chun)氧(yang)、高(gao)純(chun)氦、高(gao)純(chun)二(er)氧(yang)化碳(tan)、高(gao)純(chun)氬(ya)、氪氣(qi)、氙氣(qi)、氖氣(qi)等高(gao)純(chun)氣(qi)體(ti)以及(ji)硅烷(wan)等電子工業用氣(qi)體(ti)中(zhong)(zhong)痕(hen)量雜質(zhi)的檢測。
VALCO吹掃型十通閥
GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀所配備的均為*VALCO生產的經特殊加工的色譜柱技術
杜絕氧吸附
氣體全分析流程:四閥五柱(zhu)
HP-2氦氣純化器(qi):
可純(chun)化(hua)氣體(ti):He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等
殘(can)留濃(nong)度:≤10ppb
外置式單氣路恒溫柱箱
◆單氣路,箱爐(lu)可獨立控溫(wen)(wen)與恒溫(wen)(wen);
◆加熱(re)塊與(yu)(yu)柱(zhu)爐體采用可分(fen)離與(yu)(yu)嵌入(ru)式技術;安裝與(yu)(yu)拆卸實(shi)用方便;
◆爐(lu)體與外箱盒設(she)計分體, 安裝色(se)譜柱, 分離(li)與嵌入加熱塊,填裝保溫棉材等都人性化設(she)計;
◆PDHID是利(li)用氦中(zhong)穩定(ding)的,低功率脈(mo)沖(chong)放電(dian)作電(dian)離源,使被測組分電(dian)離產生信(xin)號。
PDHID是非放射性檢測(ce)器(qi),對(dui)所有物質均有高靈(ling)敏(min)度的正響應。
◆非放射性檢(jian)測器,使用安全;
◆檢測靈敏度(du)高,氣體中(zhong)雜質的(de)小檢測濃度(du)達5ppb。
Valco PDHID氦離子化檢(jian)測(ce)器對6種雜(za)質的檢(jian)測(ce)限(xian)(ppb) | ||||||
雜質(zhi)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 |
檢測(ce)限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 |
GC-9860-5CPDHID氦離子氣相色譜儀分析過程
1.如高純(chun)N2通過程序設定,樣品通過閥1定量管定量進(jin)入預(yu)柱1/8"*2mHayesepQ 1,預(yu)柱很(hen)好的把O2中(zhong)CO2和(he)H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分預(yu)分離,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流(liu)出(chu)預(yu)柱,自(zi)動(dong)切換閥1。CO2直接通過閥1放空.
2.閥(fa)(fa)3一開始是(shi)1-4相(xiang)同(tong),當(dang)O2從分(fen)子篩(shai)柱流(liu)(liu)出后(hou)(hou)進(jin)入(ru)(ru)(ru)閥(fa)(fa)3后(hou)(hou),進(jin)入(ru)(ru)(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的分(fen)析篩(shai),閥(fa)(fa)3切換,H2、02直接(jie)進(jin)入(ru)(ru)(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的分(fen)子篩(shai)繼(ji)續分(fen)離,通(tong)過閥(fa)(fa)4進(jin)入(ru)(ru)(ru)檢測器檢測。此(ci)時閥(fa)(fa)3處于放(fang)(fang)空狀態,放(fang)(fang)掉大部分(fen)的氮氣,當(dang)CH4即(ji)將流(liu)(liu)出前(qian)面(mian)(mian)分(fen)子篩(shai),閥(fa)(fa)3再次(ci)切換, CH4與氮氣的混合氣體進(jin)入(ru)(ru)(ru)后(hou)(hou)面(mian)(mian)的分(fen)子篩(shai)繼(ji)續分(fen)離,通(tong)過閥(fa)(fa)4進(jin)入(ru)(ru)(ru)檢測器進(jin)行(xing)檢測。當(dang)CH4*流(liu)(liu)出前(qian)面(mian)(mian)分(fen)子篩(shai)后(hou)(hou),閥(fa)(fa)3再次(ci)切割(ge)為放(fang)(fang)空狀態,繼(ji)續放(fang)(fang)掉氮氣。
3.當CO即(ji)將流(liu)出(chu)分子(zi)(zi)篩,閥3再次切(qie)換,CO通(tong)過閥3進入后面的分子(zi)(zi)篩繼續分離,進入檢(jian)測(ce)器檢(jian)測(ce)。當CO從前面分子(zi)(zi)篩流(liu)出(chu)后,閥3再次切(qie)換,處于放空狀態。
4.閥(fa)2是用來分析(xi)CO2的,當(dang)樣(yang)品從定量環中帶入預柱(zhu)中,一開(kai)始閥(fa)2是處于放空狀態,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流(liu)出(chu)排空后,閥(fa)2切換,把(ba)CO2反吹進檢測器進行分析(xi)。