S48 300/HMT 質量流量計廣泛應用于半(ban)導(dao)體(ti)制造、真空鍍膜(mo)、分析(xi)、化(hua)工、環境等行業的(de)氣流測量與(yu)控制。
使(shi)用范圍：
S48 300/HMT 質量流量計廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制。
質(zhi)量流量控制器(qi)和(he)質(zhi)量流量計
質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流(liu)量(liang)測(ce)量(liang)和(he)流(liu)量(liang)控制兩種功能。
質量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有(you)流(liu)量(liang)測(ce)量(liang)功能，不具備氣流(liu)控制(zhi)功能。
S48 300/HMT 質量流量計的特點
☆ 在引進HORIBA STEC技術(shu)基(ji)礎上，結合(he)國內需要而研制(zhi)(zhi)的一種數(shu)字(zi)式質量流量控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)產品，采用當今(jin)*的32位ARM系列處理器(qi)做數(shu)字(zi)控(kong)制(zhi)(zhi)。具(ju)有流量精度高、線性(xing)好、零(ling)漂小(xiao)、氣流響應速(su)度快、過沖小(xiao)等特點(dian)。
☆ RS232/485串(chuan)口(kou)， Modbus（RTU）開放協(xie)議。協(xie)議簡(jian)單可靠，兼容性強，易于(yu)組(zu)(zu)網(wang)。配(pei)合上位機，可進行(xing)各種復雜的(de)計量(liang)、控制操作及組(zu)(zu)態。
☆耐(nai)壓(ya)高(gao)及(ji)適用于真空條件下工(gong)作。氣體(ti)流量不因溫(wen)度、壓(ya)力的變化而變化。氣阻較小，工(gong)作壓(ya)力范圍(wei)寬(kuan)。
☆主體(ti)采用不銹鋼（316L）結(jie)構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐(fu)蝕性強。
☆可任意角度(du)安裝。
☆兼容數字和模擬(ni)控(kong)制及顯(xian)(xian)示，使用(yong)方便。易于(yu)與電氣或(huo)自動控(kong)制系統配合。配合MT-50或(huo)51系列流量(liang)(liang)顯(xian)(xian)示儀，可(ke)對氣流的瞬時流量(liang)(liang)進行(xing)精確測量(liang)(liang)和計量(liang)(liang)。
S48 300/HMT數字流量控制(zhi)器技術(shu)指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流(liu)量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥類型 | 電磁(ci)調節閥 |
3 | 調節(jie)閥靜止(zhi)狀態 | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流(liu)量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工(gong)作環境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度(du)保證溫(wen)度(du) | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性(xing)精度(du) | ±0.5%F.S. |
12 | 重(zhong)復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓(ya)差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) ; 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐(nai)壓(ya) | 3MPa(G) |
15 | 泄漏(lou)率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材(cai)料 | 316L，Viton? 氟橡(xiang)膠，PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供(gong)電(dian)電(dian)源(yuan) | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設定信(xin)號 | 數(shu)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻(zu)抗＞10kΩ |
20 | 流量輸(shu)出信號 | 數(shu)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能力(li)≤3mA |
21 | 通訊(xun)接口 | 數字(zi)RS232/RS485，波(bo)特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設(she)備號(hao)可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
訂貨規范
在(zai)訂(ding)貨時應指明(ming)是質量流(liu)量控制(zhi)器還是質量流(liu)量計，指明(ming)S48 300/HMT產品型號，流(liu)量規格，使用(yong)氣(qi)體種類，管接頭種類。
例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產品型號)500mL/min(流量規(gui)格) N2(氣體種類) Φ6(管路(lu)接頭)
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